Diener 等离子表面处理仪 NANO
- 公司名称 上海尔迪仪器科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2025/1/14 13:49:09
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产地类别 | 国产 | 应用领域 | 医疗卫生,环保,生物产业,农林牧渔 |
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Diener 等离子表面处理仪 NANO特点
· 低压等离子系统,用于不同材料表面的处理
· 配置自动/手动模式,实现控制高机能
· 中型尺寸腔体可处理多种样品
· 适合于研究院、高校、研发中心使用
Diener 等离子表面处理仪 NANO技术规格:
型号 | NANO | NANO PCCE | |||
控制系统 | 手动控制 | PCCE 控制系统 | |||
工艺气路 | 双路或三路气体 | ||||
工艺气体 | O2,Ar,N2,CO2,H2,Air等非腐蚀性气体或者CF4 、SF6等腐蚀性气体 | ||||
单体导入 | H2O,亲疏水涂层等单体(选配) | ||||
流量计 | 针阀流量计(防腐蚀) | MFC流量计(防腐蚀) | |||
真空 腔体 | 材质 | 高硼硅玻璃/石英 盖子门/铰链门带观察窗 | 不锈钢 盖子门/铰链门带观察窗 | 铝合金腔体 铰链门 | |
圆形腔体内尺寸(Φ×D)mm | 240×400(600) *1 | 267×420(600)*1mm | — | ||
方形腔体内尺寸 (W×D×H)mm | — | 240×420(600)*1×240mm | 240×420(600)*1×240 | ||
容积 | 18L~27L | 24L~34L | 24L~34L | ||
电极 | 360度外置环绕电极 | 平行平板电极 | |||
发生器* | 100 kHz 0-500W 80 kHz 0-1000W 13.56 MHz 0-100W 或者0-300W 或者 0-600W 2.45 GHz 0-600W | ||||
真空压力计 | 指针式压力计 | 皮拉尼数字式压力计 | |||
计时器 | 模拟数字式 | 数字式 | |||
托盘 | 高硼硅玻璃(石英选配),不锈钢 | ||||
外形尺寸(WXDxH)mm | 560x600-750x600-860mm | ||||
电源 | AC220V 50Hz 10A | ||||
真空泵 | 排气速度不小于16m3/H |