EXTREL_APIMS-痕量大气压离子质谱仪

•可靠的超纯气体生产和供应

•一台分析仪分析所有杂质

•全自动，实时杂质报警功能

•可靠的24/7工艺保护

•晶圆产能

VeraSpec APIMS不仅分析速度快、灵敏度高，而且操作简单，可用于连续监控氮气、氩气、氦气、氧气和氢气的供应需求。通过对ppt级别杂质的快速响应大程度保护电子制造工艺。

拥有Extrel VeraSpec APIMS，保护您的半导体生产

超纯气对半导体设备生产非常重要。通过对超纯气纯度的连续监测可以确保半导体设备的产能。其被杂质污染后的代价是非常昂贵的。

半导体工厂需要连续实时监测工艺气的纯度，杂质的检测限至低ppt级别。

要达到如此低的检测下限，方式就是应用大气压离子质谱仪。在20多年里，APIMS已经被应用在科学研究和检测工业在线微量气体的标准技术。

基于四极杆技术的Extrel VeraSpec APIMS系统能检测的气体含量和气体组分范围非常宽泛。同时仪器的长期稳定性、重复性是大多数应用所必须要求的。

为了追求优的性能、稳定性和运行时间，在半导体气体分析领域，Extrel 是运用19mmTri-filter四极滤质器的质谱仪生产商。