| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 综合 |
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白光干涉仪
Profilm 3D
支持垂直扫描和移相干涉测量法，高分辨率地测量亚纳米级的表面形貌。采用TotalFocus 技术，可以产生令人惊叹的 3D 自然彩色图像，每个像素都处于聚焦状态。
在 Profilm3D 测量技术中，测量的垂直分辨率不依赖于物镜的数值孔径，能够同时以大视场进行高分辨率的测量。通过将多个视场拼接到单次测量中，可以进一步增大测量区域。
应用范围
? 从纳米级到毫米级的3D台阶高度
? 3D粗糙度、波纹度、翘曲度和形状，纹理表征
? 3D缺陷表面形貌、缺陷表征
? 大型透明薄膜的表面进行高分辨率扫描
? 高粗糙度，低反射率，划痕表征
? 3D边缘轮廓测量
2mm宽视野
Profilm3D以10倍物镜提供2毫米视野,提供手动或自动物镜切换炮塔等配置，适用于多物镜使用场合
自动样品台
100 /200mm自动XY样品平台，自动对焦，Tip-Tilt功能
长程扫描
500μm长压电行程范围内自动对焦，可扫描高度相隔甚远的多个表面
粗糙度成像增强
粗糙度增强模式 (ERM) 可提高条纹对比度，从而提高透镜等斜率较大的表面的保真度，并改善了粗糙表面上的信噪比
移相干涉成像（PSI）
移相干涉技术可精确测量亚纳米级的表面特征
TotalFocus 无限景深成像
由于高倍物镜景深较小，传统显微技术无法观察整个视野，TotalFocus可提供全视野像素级聚焦，可在对焦每个像素时捕捉到真彩色3D图像。此功能可用于分辨具有不同光学特性的材料之间的边界。
光学性能 机械规格
主要参数 | WLI（VSI） | PSI（选配） | Z轴行程 | 100mm | |
厚度量程 | 50nm～10mm | 0～3μm | Pizeo（压电）行程 | 500μm | |
RMS重复性 | 1.0nm | 0.1nm | 垂直扫描速度 | 12μm/秒 | |
台阶高度精度 | 0.7% | 相机 | 2592 x 1944（5MP） | ||
台阶高度重复性 | 0.1% | 相机变焦 | 1×，2×，4× | ||
样品反射率 | 0.05%～100 | Tip-Tilt样品台 | ±5°，手动 | ||
采购中心
Ky开元集团