6寸PEEK制程用晶舟
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 德赢创新（上海）半导体设备技术有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地 上海市松江区小昆山镇镇中心路399弄17号
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/5/29 17:44:06
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产品规格：
PEEK Cassette系列介绍：
适用于制程间晶圆的传送。产品尺寸符合适配业内主流规范，也可依照客户要求进行定制化设计。
产品材料满足：
避免晶圆受到静电伤害
超低气体释放
超低杂质含量
耐磨且保护晶圆
耐高温制程
产品主要指标
晶圆承载量：25
D1距：14.54mm（0.57")
槽距：4.76mm（0.19")
槽最窄距：1.52mm（0.06")
主营产品：
1、超纯PFA管阀部件，可适用于化学品供应系统、混合分配系统、制程设备、化学品处理回收：管道、接头、阀门、流量计、过滤器等。
2、超纯PFA填料，在电子级氢氟酸、过氧化氢、硫酸、硝酸、盐酸、氢氧化钾、显影液、刻蚀液等高纯电子化学品产线建立起关键作用。
3、PEEK晶圆载具，4寸、4.125寸、6寸、8寸等PEEK晶舟以及专用光罩盒、通用光罩盒。
采购中心
Ky开元集团