KLA iMicro纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和纳米力学试验，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。KLA iMicro纳米压痕仪是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。各种不同的材料和器件均可以进行测试，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等。

产品特色

• InForce 1000作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换

• InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准

• InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µs

• XY运动系统以及易于安装的磁性样品台

• 高刚度框架，且集成隔振功能

• 集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位

• 符合ISO 14577等标准的测试方法

• InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序

产品应用

• 硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）

• 快速材料力学性能成像

• ISO 14577 硬度测试

• 聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量

• 定量的划痕和磨损测试

• 高温纳米压痕测试

适用行业

• 大学、科研实验室和研究所

• 半导体与封装产业

• PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN）

• MEMS：微机电系统/纳米力学试验

• 陶瓷与玻璃

• 金属与合金

• 制药

• 涂层 涂料

• 复合材料

• 电池与储能

• 汽车与航空航天