X射线荧光光谱测厚仪（EDXRF）

X射线荧光光谱测厚仪（EDXRF）

X射线荧光光谱仪（EDXRF）测试电镀镀层厚度介绍

一、技术原理

  X射线荧光光谱仪（Energy Dispersive X-ray Fluorescence, EDXRF）是一种利用X射线激发样品中原子内层电子跃迁，通过检测特征X射线能量或波长实现元素定性和定量分析的无损检测技术。在电镀镀层厚度测量中，其核心原理基于以下两点：

1. 荧光强度与元素含量关系
   当X射线照射样品时，镀层元素吸收能量后发射特征X射线，其强度与元素浓度呈线性关系。通过建立标准曲线，可推算镀层厚度。

2. 深度分辨能力
   X射线穿透深度有限，低能X射线（如Mo靶管）可检测微米级镀层，高能X射线（如Rh靶管）适用于厚层分析。

二、测试流程

1. 样品准备

• 表面清洁：去除油污、氧化层（如丙酮超声清洗）。

• 形状要求：平面或规则曲面。

• 基材选择：避免与镀层元素发生严重干扰（如Ni基镀层需校准Ni基底影响）。

2. 仪器参数设置

• X射线管：根据镀层元素选择靶材（如Cu镀层用Cr靶，Au镀层用Rh靶）。

• 滤波片：优化特定元素信号（如Ni镀层用Al滤波片抑制Cu的Kβ线）。

• 探测器：Si-PIN探测器适用于轻元素（如Zn），SDD探测器适用于重元素（如Au）。

3. 测试方法

• 单点法：快速测量局部厚度（如焊点镀层）。

• 扫描法：生成厚度分布图（如PCB板镀层均匀性检测）。

• 多层镀层分析：通过不同能量区间的信号分离各层厚度（如Ni/Cu/Sn复合镀层）。

三、技术优势

四、应用场景

1. 电子行业

• PCB板镀层厚度控制（如化学镀镍金层厚度检测）。

• 连接器端子镀层均匀性评估。

2. 汽车行业

• 紧固件镀锌层厚度验证（符合ISO 1461标准）。

• 发动机零部件镀铬层耐腐蚀性评估。

3. 珠宝行业

• 贵金属镀层（如K金、钯）厚度检测，防止掺假。

• 宝石镶嵌金属底座镀层完整性检查。

  
  

• 详细技术指标

• 多镀层分析，1～5层；

• 测试精度：0.001 μm；

• 元素分析范围从铝(Al)到铀(U)；

• 测量时间：10~30秒；

• SDD探测器，能量分辨率为125±5eV；

• 探测器Be窗0.5mil（12.7μm）；

• 微焦X射线管50kV/1mA，钼，铑靶（高配微焦钼靶）；

• 6个准直器及多个滤光片自动切换；

• 高清CCD摄像头（200万像素），准确监控位置；

• 多变量非线性去卷积曲线拟合；

• 高性能FP/MLSQ分析；

• 软件支持无标样分析；

• 宽大分析平台和样品腔；

• 集成了镀层分析界面和合金成份分析界面；

• 采用多种光谱拟合分析处理技术；

• 镀层测厚分析可达到0.001μm。

• 单层厚度范围：

• 金镀层0－8um,

• 铬镀层0-15um,

• 其余一般为0-30um以内，

• 可最小测量达0.001um。

• 2.3、多层厚度范围

• Au/Ni/Cu : Au分析厚度:0-8um      Ni分析厚度:0-30um

• Sn/Ni/Cu: Sn分析厚度:0-30um      Ni分析厚度:0-30um

• Cr/Ni/Fe: Cr分析厚度0-15um       Ni分析厚度:0-30um

• 2.4、镀层层数为1-6层

• 2.5、镀层精度相对差值一般<5%。

• 2.6、镀层成分含量：Sn-Pb合金成分分析；Zn-Ni合金成分分析。

• 单层分析精度，以Ni举例：（相对差值）

• Ni层厚度(um)	精度
  <1.0um	<5%
  1.0-5.0um	<3%
  5.0-10um	<3%
  10-20um	<3%
  >20.0um	<3%

X射线荧光光谱测厚仪（EDXRF）