| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 化工,生物产业,地矿,能源,电子/电池 |
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一、产品特点
亚纳米级分辨率
低像差锥形物镜
大束流
自动化控制系统
超大样品仓
镜筒加速技术 显著降低色差 低压下高质量成像
二、技术参数
三、产品功能
01 二次电子探测器
· 高信噪比，高带宽 · 大景深，表征样品表面形貌结构
02 不同探测器同时成像
· 显示SE，BSE 双通道图像
· 可任意设置不同探测器的信号混合比例
· BSE探测器，反映样品表面的成分特征
03 阴极荧光成像
04 大图拼接
· 样品区全域视场矩阵自动规划，拍照流程无需人工干预
· 百千张级数据量快速拼接实时预览，构建全域清晰扫描大图
05 粒度分析
采用深度学习的复合图像处理算法，自动识别比例尺，精准识别图像中的颗粒，多种形态参数的统计与导出，更全面的进行粒度
和粒形统计。
06 关键尺寸测量
具备距离，角度，水平线/垂直线/圆径测算等，丰富的图像测量功能
四、定制能力
1、电子束曝光（EBL）
基于扫描电镜的电子束曝光系统（EBL），能够精确地控制电子束的扫描路径和能量沉积，从而实现高分辨率的图形曝光。该系统采用优良的电子束扫描控制技术，支持灵活多样的图案设计和精确控制，不仅具有电子束曝光功能，还保留了原SEM 的观测功能，这使得用户可以在同一台设备上完成样品的观测和加工，提高了工作效率和便利性。
2、真空互联
·真空互联扫描电镜用于对样品车传递过来的产品进行自动检测，分析其表面晶粒形态大小分布等信息，评估其薄膜的膜质量情况。
·真空互联系统可以在真空状态下对样品进行预处理，并传递到扫描电镜内进行观测。
·自动检测和反馈系统，对样品标签、位置状态、样品交接进行监控和记录，可以清晰的了解样品传输状况。
3、激光联用-超快电镜
·超快电镜利用激光、电场等外界刺激使样品达到激发态。使用时间延迟可调的另一束激光作用于电
镜灯丝，产生脉冲电子束照射于样品表面进而收集表面逸出的二次电子对激发瞬态进行表征。
五、应用案例
采购中心
Ky开元集团