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反射膜厚仪 FT100

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江苏集萃中科旨在光学组件、光学仪器、智能光电感知三大方向,开展系列关键技术攻关与产业化实践,目前已形成3D光学轮廓仪、白光干涉仪、反射膜厚仪、光致发光、无损检测仪、光谱椭偏仪等标准化产品。公司服务涵盖光学仪器的研发、生产及制造一站式服务,同时为客户提供基于智能光电感知的智慧工厂整体解决方案。




白光干涉仪、光学轮廓仪、粗糙度仪、光学膜厚仪、光谱椭偏仪等光学产品。

产地类别 国产 价格区间 面议
应用领域 综合

反射膜厚仪 FT100描述:

紧凑型反射式膜厚仪测量系统,初学者也能轻松上手解析,单点对焦并测量耗时1秒内完成,支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析。用于表征介质保护膜、半导体薄膜、玻璃镀膜等各种样式薄膜膜厚的光学计量专业化工具。


反射膜厚仪 FT100功能

膜层厚度无损测量

避免传统接触式测量(如台阶仪)可能造成的划伤或形变。

支持单层、多层膜测量

通过干涉条纹间距或反射率极值点直接计算厚度。

便携式设计

模块化探头,紧凑机身,产线快速抽检。

支持平面曲面测量

通过可变入射角设计或曲面补偿算法(如修正光程差),测量圆柱透镜、球面镜等。

可测多种状态薄膜

如SiO?、光刻胶、PET薄膜,可通过多峰干涉解析各层厚度。

支持参数调整测量

用户可保存不同材料的测量模板,提升批量检测效率。


产品特点

1.高精度、高稳定性

2.光学干涉方式,无损测量

3.多类解析算法,可精准和估算测量,满足不同测量需要

4.高速测量,绝大多数样品可1s内完成测量

5.软件简洁,测量一键操作,简单易用

6.机型结构小巧,轻质化设计,便于携带


三视图

  • 反射膜厚仪 FT100

    正视图

  • 反射膜厚仪 FT100

    侧视图

  • 反射膜厚仪 FT100

    后视图

  • 反射膜厚仪 FT100

    正视图

  • 反射膜厚仪 FT100

    侧视图

  • 反射膜厚仪 FT100

    后视图


技术参数

波长范围

400-850nm

测量范围(光学厚度)

50nm-80μm

测量重复性(RMS)

0.4nm

测量精度(与椭偏仪对比)

2nm或0.4%(以值为准)

入射角度

90°

光斑尺寸

标准1.5mm

测量时间

4ms-100ms

基片测量范围

100mm,360°

通信接口

USB3.0




检测案例:

  • 反射膜厚仪 FT100

    PVA膜检测


  • 反射膜厚仪 FT100

    硅上镀二氧化硅膜




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