反射膜厚仪 FT100
- 公司名称 江苏集萃中科先进光电技术研究所有限公司
- 品牌 集萃中科光电
- 型号
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2025/5/28 9:57:02
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产地类别 | 国产 | 价格区间 | 面议 |
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应用领域 | 综合 |
反射膜厚仪 FT100描述:
紧凑型反射式膜厚仪测量系统,初学者也能轻松上手解析,单点对焦并测量耗时1秒内完成,支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析。用于表征介质保护膜、半导体薄膜、玻璃镀膜等各种样式薄膜膜厚的光学计量专业化工具。
反射膜厚仪 FT100功能:
膜层厚度无损测量
避免传统接触式测量(如台阶仪)可能造成的划伤或形变。
支持单层、多层膜测量
通过干涉条纹间距或反射率极值点直接计算厚度。
便携式设计
模块化探头,紧凑机身,产线快速抽检。
支持平面曲面测量
通过可变入射角设计或曲面补偿算法(如修正光程差),测量圆柱透镜、球面镜等。
可测多种状态薄膜
如SiO?、光刻胶、PET薄膜,可通过多峰干涉解析各层厚度。
支持参数调整测量
用户可保存不同材料的测量模板,提升批量检测效率。
产品特点:
1.高精度、高稳定性
2.光学干涉方式,无损测量
3.多类解析算法,可精准和估算测量,满足不同测量需要
4.高速测量,绝大多数样品可1s内完成测量
5.软件简洁,测量一键操作,简单易用
6.机型结构小巧,轻质化设计,便于携带
三视图:
正视图
侧视图
后视图
正视图
侧视图
后视图
技术参数:
波长范围 | 400-850nm |
测量范围(光学厚度) | 50nm-80μm |
测量重复性(RMS) | 0.4nm |
测量精度(与椭偏仪对比) | 2nm或0.4%(以大值为准) |
入射角度 | 90° |
光斑尺寸 | 标准1.5mm |
测量时间 | 4ms-100ms |
基片测量范围 | 100mm,360° |
通信接口 | USB3.0 |
检测案例:
PVA膜检测
硅上镀二氧化硅膜