产地类别 | 国产 | 价格区间 | 面议 |
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应用领域 | 能源,电子/电池,汽车及零部件,电气,综合 |
应用简介
如果要用扫描电镜(SEM)或透射电镜(TEM)获得高质量的样本成像,样本需要具有导电性,以避免电荷聚积。如果样本没有足够高的导电性,您可以用溅射镀膜法快速为其镀上导电层。 还可以使用碳蒸镀或电子束蒸镀方法。 这类镀膜既可以保护样本,增强电子显微成像的对比度,又可以作为小规模样本的透射电镜载网支撑膜。
设备概述
FSEM AC200喷金喷碳一体机适用于常规SEM和TEM分析。该设备是全自动系统,从而使操作变得极为简便。秉承人体工学设计理念的同时,紧凑的外观设计和更小的桌面占用面积为您大大节约了实验室空间。仪器为全闭环真空设计,配有全量程皮拉尼真空计等多个传感器实时监控运行状态,保证仪器安全稳定运行。采用高性能旋叶真空泵,快速获得<1Pa的真空环境,高精度的电源采用恒流控制,镀膜更纯,膜厚更精准,结果重复性更好。
产品特点
◇ 设计美观,操作简单,界面友好、一键镀膜;
◇ 双靶位设计,可实现导电金属或碳涂层;
◇ 采用大样品仓,可进行快速制样,样品台可预倾斜及旋转,旋转可调;
◇ 可直接放置16个标准钉型样品台,无需工作人员介入,节省人力和时间;
◇ 采用ARM架构,全自动控制,控制精度高,操作简单;
◇ 低电压,稳定真空环境,可溅射多种常用金属金、铂、钯、银等;
◇ 溅射颗粒可达纳米级别,溅射颗粒<5nm制备薄膜致密,适合高分辨SEM使用;
◇ 采用磁控溅射技术,利用平面磁场减少温度的变化,适用于温度敏感样品;
◇ 低电压,稳定真空环境,可适配多种规格碳材料0.8、1.2、2.4及碳棒等;
◇ 采用脉冲电源技术,利用V型结构,更好的碳绳利用率,制备更薄的导电膜层;
◇ 配有多个传感器实时监控运行状态,保证仪器使用安全;
◇ 长期运行,稳定可靠,无需特殊维护;
◇ 具备开关机数据存储记忆,修复长期应用偏差;
◇ 仪器可全自动控制,更方便用户实现各种自动化控制操作;
◇ 软件遵循GMP规范,方便实现用户管理,使用记录等功能。
技术参数
设备型号 | FSEM AC200 |
溅射类型 | 低压磁控平面溅射 |
靶材尺寸 | 双靶位靶材,靶材直径32mm,V型碳绳结构 |
控制模式 | 5寸触摸屏全自动程序控制 |
真空系统 | 机械旋叶泵,极限真空<1Pa真空抽速1L/s |
真空测量 | 全量程皮拉尼数字真空计 |
工作真空 | 2-8Pa,真空精度可达0.1Pa |
样品台 | 可升降倾斜旋转,可放置16个标准钉型台,直径可达100mm |
溅射电源 | 恒流磁控DC溅射电源300-600V,Max50mA控制精度可达1mA |
溅射时间 | ≤600s,控制精度1s |
蒸发电源 | 恒压脉冲DC蒸发电源0-80A,Max 10V控制精度可达0.1V |
脉冲频率 | 100ms-1s,具备预热除气功能 |
真空腔室 | φ160×120mm |
供电要求 | 200-240VAC 50Hz,功率1500W |
外形尺寸 | 520×360×380mm |
配置清单
序号 | 名称 | 规格 | 数量 |
1. | 喷金喷碳一体机主机 | FSEM AC200 | 1台 |
2. | 溅射靶材金靶 | φ32×0.1mm | 1个 |
3. | 高纯碳绳 | φ0.8×1m | 1根 |
4. | 真空管路 | KF16-1.2m | 1根 |
5. | 机械真空泵 | VRD-4 | 1台 |
6. | 合格证、保修卡、说明书、装箱单 | / | 1套 |
服务承诺
1、产品到达贵公司后,我公司工程师可在贵公司准备好设备所需外部条件(如水、电、气等)后,负责该设备的安装、调试、启动工作,并提供良好的技术支持和售后服务,同时对贵公司使用人员进行设备使用培训,保证受训人员能够独立、熟练操作设备和完成简单的维修工作、设备日常维护工作。★复杂设备,此项工作在用户现场进行,简单设备,此项工作远程视频指导进行,具体按照双方合同条款执行。
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3、我司拥有全国客户支持中心,通过电话及视频通话及时帮助全国客户解答问题,拥有一支训练有素的工程师队伍为全国各地的客户提供优质、快速的上门服务。我司在接到贵方的故障通知后,保证在 0.5 小时内做出响应,如有需要,确保在12小时内到达客户现场排除故障。
4、我公司承诺在该设备的使用期间,可无偿、无限期地提供该设备的技术支持工作。
5、我公司承诺提供免费软件升级服务(如涉及)。
6、我司工程师长期免费为客户提供金相/电镜制样工艺制定协助。
7、我司有完善的配套耗材体系,客户有新材料需要制样时,免费为客户提供合适的耗材进行测试。
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