CDS混液柜 芯矽科技

CDS混液柜是专为半导体、医药及化工领域设计的自动化化学液体混合与供液系统，集成了高精度配比、安全防护及智能化控制功能。其核心优势在于通过模块化设计实现多组分化学液的精准混合与连续供应，同时保障操作安全性与工艺稳定性。

一、核心功能与技术特点

全封闭耐腐蚀结构

柜体采用PP、PVDF或PFA等耐酸碱腐蚀材料焊接而成，有效隔绝强酸、强碱等挥发性气体泄漏，避免环境污染与设备腐蚀。

透明PVC观察窗与可拆卸后门设计，便于实时监测内部管路状态，快速定位故障。

高效混液与供液能力

配备双PE材质供液桶（如1000L容量），支持一备一用不间断供液，满足连续生产需求。

计量泵与循环过滤系统结合，实现化学液的精确配比（如光刻胶、蚀刻液浓度控制）与微粒过滤（0.2μm滤芯），确保液体洁净度。

除泡器消除流体震动产生的气泡，避免气泡对工艺稳定性的影响。

智能控制系统

PLC人机交互界面支持参数预设、流程自动化及远程监控，减少人工干预。例如，接收主机台信号后自动启停供液程序，并记录用量数据。

漏液侦测与警报系统覆盖供液柜、阀箱及管道，通过双套管设计（内管走液，外管监测泄漏）及时预警，防止化学品污染。

安全与环保设计

抽风系统搭配差压表实时监测挥发性气体排放，防爆照明与气体侦测器适用于有机溶剂等高危场景。

水循环冲洗与氮气干燥功能替代传统高温烘干，避免治具热损伤，同时降低能耗。

二、应用场景与行业价值

半导体制造：用于光刻、蚀刻工艺中的化学液精准配送，如显影液、蚀刻液的多工位循环供液，提升芯片良品率。

医药研发：支持药物中间体合成、高分子控释剂制备等场景，模块化配置适应不同配方需求。

电子工业：服务于PCB蚀刻、电镀等环节，确保化学药剂输送的高精度与稳定性。

三、设备优势总结

兼容性强：适配不同尺寸治具与多类型化学液，支持定制化工艺参数。

低损耗率：精准混液减少试剂浪费，物理隔离设计延长设备寿命。

绿色节能：化学剂回收率≥90%，真空干燥能耗较传统方式降低40%。

高洁净度：颗粒过滤精度达Class 5标准，满足制程要求。

CDS混液柜通过技术整合与创新，解决了传统人工配液的效率低、风险高、精度差等问题，成为半导体等领域的关键设备，助力客户实现高效、安全、绿色的生产目标。