K Nikkato/日淘工程业务半导体制造的热电偶

深圳纳加霍里科技专业代理销售日本Nikkato/日淘工程业务半导体制造的热电偶 产品特点如下：

日本Nikkato/日淘工程业务半导体制造的热电偶 日本Nikkato（日淘工程）是工业加热设备和高温材料领域的出这些是半导体制造中使用的各种热电偶。

可以设计各种形状和尖峰形状的热电偶，还提供各种石英保护管、氧化铝保护管、陶瓷涂层线材、线径等。名厂商，其热电偶产品在半导体制造、陶瓷烧结、冶金等领域应用广泛。

 热电偶类型

Nikkato的热电偶主要分为以下几类，符合国际标准（IEC）：

1.K型热电偶（镍铬-镍硅）

温度范围：-200°C ~ +1300°C

特点：性价比高，抗氧化性强，适用于半导体设备的低温至中高温段（如CVD、扩散炉）。

半导体应用：晶圆热处理、管式炉温度监控。

2.R/S型热电偶（铂铑-铂）

温度范围：0°C ~ 1600°C（R型）、0°C ~ 1700°C（S型）

特点：高精度、稳定性好，但成本高，适用于超高温环境。

半导体应用：单晶硅生长炉（CZ法）、外延沉积反应器。

3.B型热电偶（铂铑30-铂铑6）

温度范围：+600°C ~ +1800°C

特点：耐高温性能好，抗污染能力强，适合长期高温操作。

半导体应用：高温氧化炉、退火工艺。

4.C型热电偶（钨铼5%-钨铼26%）

温度范围：0°C ~ 2300°C（惰性/还原气氛）

特点：超高温测量，但易氧化，需保护套管。

半导体应用：MOCVD反应器、碳化硅（SiC）晶体生长。

Nikkato热电偶的特殊设计

1.保护套管材质

氧化铝（Al?O?）：耐高温至1800°C，适用于氧化性气氛。

莫来石（Mullite）：抗热震性好，用于快速升降温工艺。

碳化硅（SiC）：导热性优异，适合半导体高温工艺。

2.结构形式

裸丝型：响应快，用于高精度控温（如快速退火）。

铠装型：金属护套（如Inconel），抗机械冲击，适合严苛环境。

陶瓷封装型：绝缘性好，防止电信号干扰（如PECVD设备）。

半导体制造中的关键应用

3.晶圆加工

扩散炉：K型或R型热电偶监控掺杂工艺温度（800°C~1200°C）。

蚀刻设备：铠装K型热电偶耐腐蚀气体（如Cl?、CF?）。

4.薄膜沉积

CVD/PVD：B型或C型热电偶确保反应室高温均匀性。

ALD：高精度K型热电偶控制低温沉积（200°C~400°C）。

5.封装与测试

回流焊：短时高温测量（S型热电偶）。

优势总结

Nikkato热电偶以高可靠性、长寿命和定制化服务（如特殊长度/接头设计）著称，适合半导体行业对工艺稳定性的严苛要求。

公司代理和销售优势品牌明细