金属电容真空压力计
| 参考价 | ￥3000-￥8000/件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 陕西君研科技有限公司
- 品牌其他品牌
- 型号
- 所在地宝鸡市
- 厂商性质生产厂家
- 更新时间2025/7/2 17:18:46
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| 测量原理 | 金属电容式原理 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5千-1万 | 量程 | 0-1333.22mbar |
| 应用领域 | 电子/电池,电气,综合 | 真空接口 | KF2EDG3.81；DB-9；DB-15 |
一、金属电容真空压力计的特点：
1、高精度、高稳定性
2、耐磨损、耐腐蚀性
3、耐高过载特性
4、优异的抗干扰设计
5、工作温度范围宽
二、金属电容真空压力计的应用：
1、半导体处理室
2、PECVD 过程控制
3、等离子体灭菌器
4、核工业、铀浓缩
三、金属电容真空压力计的产品参数
量 程 | 0…1torr;0…10torr;0…100torr;0…1000torr |
供 电 | 15…30VDC |
输 出 | 0…10VDC; 0…5VDC;1…5VDC |
精 度 | 0.2%FS;0.5%FS;1.0%FS@25℃ |
补偿温度 | 0…50℃ |
介质温度 | -20…80℃ |
存储温度 | -40…85℃ |
温 漂 | ≤0.04% FS/℃ |
稳定性 | 0.5%FS/年 |
响应时间 | ≤20mS |
测量介质 | 与镍基合金兼容的气体 |
外壳材质 | 304SS |
膜片材质 | 镍基合金 |
电流消耗 | ≤10mA |
输出负载 | >10KΩ |
电器连接 | 见接线方式 |
过程接口 | 见外形图 |
四、金属电容真空压力计的外形图
五、金属电容真空压力计的接线方式
六、金属电容真空压力计的选型指南
VM | 真空压力计 | ||||||
01 | 金属电容 | ||||||
02 | 陶瓷电容 | ||||||
S1 | 4-20mA;S2:// | ||||||
S3 | 0-5V | ||||||
S4 | 0-10V | ||||||
… | S5://;S6:RS485 | ||||||
U1 | 15-30VDC | ||||||
010 | 0.1Torr | ||||||
100 | 1 Torr | ||||||
101 | 10 Torr | ||||||
102 | 100 Torr | ||||||
103 | 1000 Torr | ||||||
C1 | KF16 | ||||||
C2 | 1/2VCR | ||||||
C3 | 1/4VCR | ||||||
C2F | 1/2VCR female | ||||||
C3F | 1/4VCR female | ||||||
E1 | KF2EDG 3.81 | ||||||
E2 | DB-9 | ||||||
E3 | DB-15 | ||||||
VM | 01 | S4 | U1 | 101 | C1 | E3 | |
采购中心
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