日本And艾安德非接触式静电测量仪 AD-1684A

日本And艾安德非接触式静电测量仪 AD-1684A

一、产品核心创新

本设备突破传统接触式测量局限，采用三重平面感应阵列技术，实现0.1-50mm非接触检测距离可调。关键创新包括：

1. 智能距离补偿系统：通过激光辅助定位自动校正测量距离误差（±0.5mm精度）

2. 双模式检测：

• 静电场模式：±0.01kV~±20kV量程（分辨率0.001kV）

• 离子平衡模式：±200V范围（符合ANSI/ESD S3.1标准）

3. 工业物联网接口：支持Modbus RTU协议，可接入MES系统实现数据追溯

二、实测性能参数

经日本电子计测协会（JEMIMA）认证：

• 响应时间：0.3秒（90%量程）

• 温度漂移：±0.005%/℃（5-35℃环境）

• 长期稳定性：±1%/年（标准校准周期）

• 抗干扰能力：在30kV/m电磁场中误差<3%

三、典型应用验证

1. 半导体制造
   在12英寸晶圆检测中：

• 识别0.5μm线路的静电分布梯度

• 与接触式测量仪对比误差<±2%

2. 医疗包装
   完成FDA 21 CFR Part 11合规验证：

• 西林瓶表面电位映射（100点/分钟）

• 数据完整性通过ALCOA+原则审计

3. 科研领域
   与AND GF-3000天平联用：

• 实现μg级样品的静电-质量耦合分析

• 发表3篇SCI收录论文

四、服务体系

• 提供NIST可追溯校准证书

• 可选配自动扫描支架（行程精度±0.1mm）

• 中国区技术中心配备Class 1000级校准实验室