FPR-PSD-21-6.35UGC#B 池田屋现货！！富士金FUJIKIN 数控阀
| 参考价 | ? 2156 |
| 订货量 | ≥1件 |
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 池田屋实业(深圳)有限公司
- 品牌 Fujikin/富士金
- 型号 FPR-PSD-21-6.35UGC#B
- 产地 日本
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2025/7/12 15:10:28
- 访问次数 67
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| 应用领域 | 综合 |
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池田屋现货！！富士金FUJIKIN 数控阀 FPR-PSD-21-6.35UGC#B
池田屋现货！！富士金FUJIKIN 数控阀 FPR-PSD-21-6.35UGC#B
富士金（FUJIKIN）是日本的高精度流体控制设备制造商，其产品广泛应用于半导体、光伏、科研等领域。
FPR-PSD-21-6.35UGC#B 是一款高性能数字控制阀（数控阀），专为高精度气体流量控制设计，适用于严苛的工业环境。
1. 主要特点
高精度控制：流量控制精度可达 ±1% FS（满量程），适用于微流量调节。
快速响应：开关时间 毫秒级（通常20-50ms），适合高速工艺需求。
耐腐蚀材料：阀体通常采用不锈钢（SUS316L），密封材料可选氟橡胶（FKM）、EPDM等，适用于腐蚀性气体（如HCl、Cl?、NH?等）。
数字信号控制：支持RS-485、EtherCAT、PROFIBUS等通信协议（具体取决于配置），或模拟信号（4-20mA/0-5V）输入。
紧凑设计：体积小，适合高密度安装，节省设备空间。
高可靠性：适用于7×24小时连续运行，寿命长，维护需求低。
2. 典型应用
半导体制造：用于CVD（化学气相沉积）、蚀刻、离子注入等工艺的气体流量控制。
光伏行业：在薄膜太阳能电池制造中控制SiH?、NH?、NF?等特种气体。
实验室设备：如气相色谱（GC）、质谱仪（MS）等需要高精度流量控制的场景。
3. 技术参数（示例，具体以数据为准）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | FPR-PSD-21-6.35UGC#B |
| 接口尺寸 | 6.35mm（1/4英寸） |
| 阀体材质 | SUS316L（标准） |
| 密封材料 | 氟橡胶（FKM）或其他可选 |
| 工作压力 | 0.1~0.7 MPa（可定制更高压力） |
| 流量范围 | 0~50 SLM（标准氮气，可定制） |
| 控制信号 | 数字（RS-485/EtherCAT）或模拟（4-20mA/0-5V） |
| 响应时间 | ≤50ms（全开→全关） |
| 重复精度 | ±1% FS |
| 环境温度 | 0~50°C（可定制高温/低温版本） |
| 认证 | CE、SEMI（部分型号符合半导体行业标准） |
采购中心
Ky开元集团