SMC推出了一款XGTP系列平行密封型门阀。产品采用平行密封结构，可对应300mm晶圆。适用于半导体装置的真空工艺腔与传输腔之间的密封。

 产品参数
???◇ 长寿命：300万次（常温时）
???◇ 低发尘：发尘量减少到1/5以下（与旧型相比）
???◇ 省气：耗气量减少22%
???◇ 轻量：14kg（盒式）
???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm
平行密封构造：门上升、下降的直线动作和门开闭的夹紧采用平行密封（L motion）构造，降低了摩擦系数，可大幅减少发尘量并延长使用寿命。

 

应用场合

▼半导体加工过程中，针对各工艺腔之间的隔离。