简介

Jordan Valley公司zui新设计的Delta-X是多功能的X射线衍射设备，可灵活应用于材料科学研究、工艺开发、与生产质量控制。Delta-X衍射仪的光源台和探测台的光学元件可以全自动化调控，并采用水平式样品台。Delta-X衍射仪可以在常规衍射模式、高分辨率衍射模式、X射线反射模式之间灵活切换。光学配置的切换*在菜单式程序控制下由计算机完成，无需手动操作。自动化切换和准直不需要专门人员和操作设备，并确保每次切换都能达到zui佳的光学准直状态。

常规的样品测量可以通过Delta-X衍射仪，实现部分、乃至*的自动化运行，自动化测量程序可以依客户需求进行专门定制。也可采用*的手动模式操作Delta-X衍射仪，以便发展新测量方法，研究新材料体系。

数据分析或拟合可以作为测量程序的一部分，可实现*自动化，也可依据需要单独进行数据分析。 依半导体生产线的需求，将RADS和REFS拟合软件以自动化模式运行，允许在没有用户干扰的情况下自动完成常规性的数据分析，并直接完成数据拟合和结果输出。RADS和REFS也可以单独安装，以便进行更详细的数据分析。

Delta-X衍射仪能满足科学研究所和技术开发中心 不同材料体系的*测试需求。

Delta-X 衍射仪的主要特点和优势

• 自动化进行样品准直、测试、和数据分析
• 客户可以自行设定测量的自动化程度
• 300mm的欧拉环支架(Eulerian Cradle)设计，高精度的样品定位和扫描
• 300mm的晶片水平式放置，且可以完整mapping
• 100º的Chi轴倾转范围、无限制范围的Phi轴旋转空间，可实现极图和残余应力测试
• 智能化的光学配置切换和准直。依测量需要，自动选择光学配置并实施光学准直
• 工业界先的设备控制软件和数据分析软件
• 高分辨率测角仪，以保证精密且准确的测量
• 高强度的光源台设计和光学元件组合，以实现快速测量
• 多方面广泛的测试技术和测量参数
• 由拥有超过30年的高分辨率X射线衍射经验的世jie级专家设计、制造，具有客户经验。

Delta-X衍射仪的特点和优势

自动化控制的光学系统:

Delta-X衍射仪的入射束包括多种标准的光学配置模式，以便使光学配置具有充分的灵活性，且易于操作。可以依据测量样品的材料类型，选择参考晶体。

• 标准模式：用于所有系统，平行束多层膜高反镜
• 其他四种光学系统可以选择和安装：
  • Bragg-Brentano镜 (Johannson光学元件)
  • Bragg-Brentano镜 (Johannson光学元件)和一个参考晶体(二次反射)
  • 两个独立的参考晶体(二次反射)：参考晶体的材料类型和分辨率有多种设计供选择，以便提供与测量zui匹配的分辨率。
  • 两个参考晶体，以Bartels模式安装
• 参考晶体和高反镜均可自动化切换
• 不需要将参考晶体和高反镜手动移出衍射仪，保证光学元件不被损坏、不偏离准直状态。
• 衍射仪的初始准直易于操作，安全可靠，无需在设备内开启X射线操作。

样品台

可放置直径≤300mm晶片或多个小尺寸晶片、样品

Delta-X衍射仪的欧拉(Eulerian )环支架设计允许放置单个或多个晶片或样品，并提供多个转动轴的大范围、高再现性的精确移动控制。

• 水平式样品放置
• 可实现X和Y轴方向上，300mm内的完整mapping测量，无边缘测量失真的现象
• 10mm的Z轴高度范围，即使对厚样品也可以调整晶片高度，获得zui佳测量位置
• 在样品盘的不同位置，设计了均匀、无扭曲的真空轻度吸附，既适合大尺寸晶片放置，又适合独立、小尺寸晶片的多片式放置
• 100°的Chi轴倾转范围，可实现完整的极图和残余应力测量
• Phi轴的旋转范围无限制，可实现完整的极图和面内衍射测量

“边缘至边缘”全晶片测量 (无边缘测量失真现象)

Delta-X衍射仪支持全晶片测量，无边缘测量失真的现象。

特殊环境样品台

Delta-X衍射仪可选配高温台，并用于各种测试技术。

• 样品尺寸≤25mm
• XRR/XRD/HRXRD等技术均可实现
• zui高温度可达1100℃
• 可实现真空、空气、特殊气体等不同的测量环境
• 可实现温度的计算机自动控制

探测台

闪烁式高性能点探测器

探测系统具有显著提高响应特性等多方面的特点：

• EDRc (动态响应范围增强型)探测器的动态响应范围>2x107cps。配置全自动化衰减器后，动态响应范围可提高至5x108cps。
• 选配三轴分析晶体和Soller狭缝，可自动化准直，以保障各项测量所需的分辨率。
• 马达驱动的自动化探测狭缝。无需手动调整，即可控制探测台的接收精度。
• 超快速扫描引擎和软件。大范围扫描可以在5秒内完成。

性能的线探测器(选配件)

提供一维(1D)线探测器可供选择，能实现束线信号的同步平行采集，能显著提高XRD的测量速度。特别适用于小束斑条件下的XRD测量、和快速HRXRD倒易空间map测量。

• 自动化束线准直