可定制 纳米二氧化硅-纳米氮化硅复合材料
摘要：一种纳米二氧化硅-纳米氮化硅复合材料,包括多个由纳米二氧化硅包覆在纳米氮化硅表面形成的微粒,其中,所述纳米氮化硅与纳米二氧化硅的质量比为1:1~10:1.纳米氮化硅与纳米二氧化硅按质量比1:1~10:1进行复合,使得该复合材料的,介电常数较低,能够应用于大规模集成电路电子封装等领域.还提供一种纳米二氧化硅-纳米氮化硅复合材料的制备方法.
可定制 纳米二氧化硅-纳米氮化硅复合材料
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