薄膜厚度均匀度在线测量系统-MPROBE 60

MProbe 60 是一站式系统，专为研发中心和小型制造而设计。它结合了测量厚度/n&k 与自动化小点测量的能力。MProbe 60 已应用于研发纳米技术中心。可以快速可靠地测量 1 nm至 2 mm的厚度，包括多层薄膜堆叠。不同的MProbe 60 型号主要受光谱仪的波长范围和分辨率影响，进而决定了可测量的厚度范围。

薄膜厚度均匀度测量系统-MPROBE 60的优势：

1.具有灵活和模块化的映射自动化的一站式系统

2.精度<0.01nm 或 0.01%

3.500+ 扩展材料数据库

4.软件：用户友好且功能丰富的 TFCompanion 软件甚至可以处理zui复杂的应用程序。层数没有限制，支持背面反射、表面粗糙度、暗度等等。集成的相机和成像软件允许精确定位测量位置并直接在图像上显示结果

薄膜厚度均匀度在线测量系统-MPROBE 60选型列表：

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