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匀胶机的选购方式

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匀胶机是在旋转的基片上,滴注胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备,膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。

 

选购巧

从其原理来说,可以看出选购匀胶机需要注意的几个细节

 

旋转速度

转速的快慢和控制度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。匀胶机只能提供转速范围,并不能标定实时的转速。

 

真空吸附系统的构

真空泵定要无油的,压力标定准确,油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况。

 

材质的选择

对于半导体化行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。

旋转涂覆术

旋转涂覆术所使用的设备是匀胶机。又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是样的,即在速旋转的基片上,滴注胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

 

从其原理来说,匀胶机有以下两个特点。

 

(1)旋转速度

 

转速的快慢和控制度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速误差很大,对于要求涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。

 

(2)真空吸附系统

 

真空泵般采用无油泵,即通常说的干泵,因为何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生"飞片"的情况,还会让滴的胶液不慎入真空管道系统成*堵塞。有的匀胶机通过联动机制,当真空吸附力不够时不会开始旋转。这样可有效避免滴的胶液不慎入真空管道系统。

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