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荷兰 HIGH VOLTAGE 负溅射离子源

HIGH VOLTAGE 负溅射离子源 MODEL 860A AND 860C

High Voltage 负溅射离子源 Model 860A and 860C 主要特点
? 易于操作和维护
? 可以提供周期表中几乎所有元素的高强度离子束
? 束流高达150 µA
? 近光灯发射
? 易于装载储液罐
? 铯电荷寿命 > 1000 hours
? 易于更换来源材料

荷兰 HIGH VOLTAGE 负溅射离子源 HVE 860 型是一种重离子源，可从各种元素材料中产生微安强度的负离子束。

负离子是通过用正铯离子轰击所需束材料的圆柱形目标而产生的。靶材的颗粒被铯离子从靶材表面溅射出来，产生低速原子，在中性铯表面层进行电荷交换。这些次级负离子从目标表面被排斥并加速到地电位，根据提取电压获得约 10 – 40 keV 的束流能量。安装在源外壳中的一对永磁体可抑制二次电子。为了改变离子种类，现有的阴极靶材可以通过在线闸阀轻松快速地更换
为新的阴极靶材，而不会破坏真空。

有两种类型的 860 型溅射离子源可供选择：
– 860A 型，带有环形电离器，能够在较长的时间内
产生高强度负离子束 – 860C 型，特别推荐使用球形电离器，当需要小发射光束在低加速电压下或通过大型加速器系统进行高效传输时 将 860A 型离子源更改为 860C 型离子源的修改套件包括可用。