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产地类别 | 进口 | 价格区间 | 1万-2万 |
---|---|---|---|
应用领域 | 环保,化工,生物产业,制药/生物制药,综合 |
TRAPACK是一种粉末去除捕集器,可去除半导体和液晶制造设备废气中的反应产物(细粉)。结构有涡流旋流吸附型、磁性元件型(Trapac Element)以及两者结合的组合型三种。特别是,组合型排除了蚀刻设备和CVD设备发出的亚微米细粉
大成技研TAISEI CVD过滤气体除粉装置
大成技研TAISEI CVD过滤气体除粉装置
大成技研株式会社提供的“气体粉末去除装置"主要去除半导体、液晶制造设备(离子注入、CVD、蚀刻等)中排出的气体反应生成物(微细粉末)。
特别是,通过旋转涡流吸附和高性能磁性元件,可以排除离子注入和CVD设备中产生的1μm以下的反应产物。该装置在元件内几乎没有压力损失,可用于真空泵的前级和后级,是一种创新的粉末捕集器,可以轻松处理现有过滤器无法去除的细粉末。它有望显着减少维护工时并提高生产率。
TRAPACK是一种粉末去除捕集器,可去除半导体和液晶制造设备废气中的反应产物(细粉)。结构有涡流旋流吸附型、磁性元件型(Trapac Element)以及两者结合的组合型三种。特别是,组合型排除了蚀刻设备和CVD设备发出的亚微米细粉。
清洁废气管道 减少前线阀门的维护 真空泵故障预防 提高生产力 减少前线维护
外观结构 特征
去除细小反应产物(细粉)
单元密度低,网格空隙大
粉末分层在元件的表面和内部。
主要用途 规格
注入 ?一次元件/Trapac元件
蚀刻 ?次要元素/无
安装位置/真空、排气
TU-KN100
(元件型) 主要用途:通用
元件类型:DL
端口尺寸:NW25
尺寸:D90mm x H195mm
重量:1.9kg
TU-KN200
(元件型) 主要用途:通用
元件类型:EL
端口尺寸:NW40
尺寸:D140mm x H210mm
重量:4.6kg
TU-KN500
(元件型) 主要用途:通用
元件类型:GL
端口尺寸:NW40
尺寸:D210mm x H260mm
重量:10kg
TU-KN500W
(元件型) 主要用途:通用
元件类型:HL
接管尺寸:NW40
尺寸:D210mm x H390mm
重量:13kg
TU-200
(元件型) 主要用途:
植入 元件类型:EL
连接尺寸:NW25
尺寸:D210mm x H210mm
重量:5.3kg
TU-250
(元件型) 主要用途:
植入 元件类型:FL
连接尺寸:NW40
尺寸:D210mm x H295mm
重量:6.5kg
TU-500
(元件型) 主要应用:厂内/蚀刻
元件类型:GL
连接直径:NW40
尺寸:D300mm x H267mm
重量:10.0kg
TU-500W
(元件型) 主要应用:植入/蚀刻
元件类型:HL
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:D300mm x H415mm
重量:13kg
TU-1000
(元件型) 主要应用:就位/蚀刻
元件类型:GL
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:D300mm x H555mm
重量:16.5kg
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TRAPPACK(Uzu型)
这是一种气体除粉装置,是 Trapac 的进一步发展,配备了漩涡型元件。
外观结构 特征
由于螺旋结构,粉末不会长时间经历压力损失
几乎所有粉末都被涡流数和涡流螺距的组合拒之门外。
粉末分层在安装的涡流元件的表面上。
?主要用途 / CVD、蚀刻 ?一次元件 / 涡流元件
?二次元件 / 无 ?安装位置 / 真空、排气
TU-50LM /LMJ
(涡流型) 主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:ASD-50 涡流
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□370mm x H707mm
重量:53kg / 68kg
TU-65LM /LMJ
(涡流型) 主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:ASD-65 涡流
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□400mm x H1013mm
重量:94kg / 99kg
TU-85LM /LMJ
(涡流型) 主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:ASD-85 涡流
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□430mm x H1064mm
重量:100kg / 115kg
TU-95LM /LMJ
(涡流型) 主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:ASD-95 涡流
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□485mm x H1064mm
重量:145kg / 160kg
TU-105LM /LMJ
(涡流型) 主要用途:蚀刻/CVD
元件类型:ASD-105 涡流
连接尺寸:NW40、NW50
尺寸:□535mm x H1264mm
重量:180kg / 240kg
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TRAPPACK(组合型)
TRAPACK的进一步进化,配备组合型元件(涡流型+元件型)的气态除粉装置。
外观结构 特征
去除细小反应产物(细粉)
单元密度低,网格空隙大
粉末在螺旋和元件部分分层。
?主要用途 / CVD、蚀刻 ?一次元件 / 涡流元件
?二次元件 / Trapak 元件 ?安装位