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池田屋实业(深圳)有限公司
中级会员·3年您现在的位置： 池田屋实业(深圳)有限公司>>日本TAISEI大成技研>> TU-105LM /LMJ原厂现货TAISEI 蚀刻CVD气态除粉装置
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 1万-2万 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,生物产业,制药/生物制药,综合 |
TRAPACK是一种粉末去除捕集器，可去除半导体和液晶制造设备废气中的反应产物（细粉）。结构有涡流旋流吸附型、磁性元件型（Trapac Element）以及两者结合的组合型三种。特别是，组合型排除了蚀刻设备和CVD设备发出的亚微米细粉
产品介绍
原厂现货TAISEI 蚀刻CVD气态除粉装置
原厂现货TAISEI 蚀刻CVD气态除粉装置
大成技研株式会社提供的“气体粉末去除装置"主要去除半导体、液晶制造设备（离子注入、CVD、蚀刻等）中排出的气体反应生成物（微细粉末）。
特别是，通过旋转涡流吸附和高性能磁性元件，可以排除离子注入和CVD设备中产生的1μm以下的反应产物。该装置在元件内几乎没有压力损失，可用于真空泵的前级和后级，是一种创新的粉末捕集器，可以轻松处理现有过滤器无法去除的细粉末。它有望显着减少维护工时并提高生产率。
TRAPACK是一种粉末去除捕集器，可去除半导体和液晶制造设备废气中的反应产物（细粉）。结构有涡流旋流吸附型、磁性元件型（Trapac Element）以及两者结合的组合型三种。特别是，组合型排除了蚀刻设备和CVD设备发出的亚微米细粉。
清洁废气管道 减少前线阀门的维护 真空泵故障预防 提高生产力 减少前线维护
外观结构 特征
去除细小反应产物（细粉）
单元密度低，网格空隙大
粉末分层在元件的表面和内部。
主要用途 规格
注入 ?一次元件/Trapac元件
蚀刻 ?次要元素/无
安装位置/真空、排气
TU-KN100
（元件型） 主要用途：通用
元件类型：DL
端口尺寸：NW25
尺寸：D90mm x H195mm
重量：1.9kg
TU-KN200
（元件型） 主要用途：通用
元件类型：EL
端口尺寸：NW40
尺寸：D140mm x H210mm
重量：4.6kg
TU-KN500
（元件型） 主要用途：通用
元件类型：GL
端口尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H260mm
重量：10kg
TU-KN500W
（元件型） 主要用途：通用
元件类型：HL
接管尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H390mm
重量：13kg
TU-200
（元件型） 主要用途：
植入 元件类型：EL
连接尺寸：NW25
尺寸：D210mm x H210mm
重量：5.3kg
TU-250
（元件型） 主要用途：
植入 元件类型：FL
连接尺寸：NW40
尺寸：D210mm x H295mm
重量：6.5kg
TU-500
（元件型） 主要应用：厂内/蚀刻
元件类型：GL
连接直径：NW40
尺寸：D300mm x H267mm
重量：10.0kg
TU-500W
（元件型） 主要应用：植入/蚀刻
元件类型：HL
连接尺寸：NW40、NW50
尺寸：D300mm x H415mm
重量：13kg
TU-1000
（元件型） 主要应用：就位/蚀刻
元件类型：GL
连接尺寸：NW40、NW50
尺寸：D300mm x H555mm
重量：16.5kg
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TRAPPACK（Uzu型）
这是一种气体除粉装置，是 Trapac 的进一步发展，配备了漩涡型元件。
外观结构 特征
由于螺旋结构，粉末不会长时间经历压力损失
几乎所有粉末都被涡流数和涡流螺距的组合拒之门外。
粉末分层在安装的涡流元件的表面上。
?主要用途 / CVD、蚀刻 ?一次元件 / 涡流元件
?二次元件 / 无 ?安装位置 / 真空、排气
TU-50LM /LMJ
(涡流型) 主要用途：蚀刻/CVD
元件类型：ASD-50 涡流
连接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□370mm x H707mm
重量：53kg / 68kg
TU-65LM /LMJ
(涡流型) 主要用途：蚀刻/CVD
元件类型：ASD-65 涡流
连接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□400mm x H1013mm
重量：94kg / 99kg
TU-85LM /LMJ
(涡流型) 主要用途：蚀刻/CVD
元件类型：ASD-85 涡流
连接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□430mm x H1064mm
重量：100kg / 115kg
TU-95LM /LMJ
(涡流型) 主要用途：蚀刻/CVD
元件类型：ASD-95 涡流
连接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□485mm x H1064mm
重量：145kg / 160kg
TU-105LM /LMJ
(涡流型) 主要用途：蚀刻/CVD
元件类型：ASD-105 涡流
连接尺寸：NW40、NW50
尺寸：□535mm x H1264mm
重量：180kg / 240kg
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TRAPPACK（组合型）
TRAPACK的进一步进化，配备组合型元件（涡流型+元件型）的气态除粉装置。
外观结构 特征
去除细小反应产物（细粉）
单元密度低，网格空隙大
粉末在螺旋和元件部分分层。
?主要用途 / CVD、蚀刻 ?一次元件 / 涡流元件
?二次元件 / Trapak 元件 ?安装位
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