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池田屋实业(深圳)有限公司
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产品简介
| 测量原理 | 标准 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 2万-5万 | 量程 | 标准mbar |
| 应用领域 | 综合 | 真空接口 | 标准 |
Canon Anelva凭借?全链路真空技术积累?与?工业级可靠性设计?，成为半导体、光伏等领域的关键设备供应商。其产品线从基础计量到复杂制程设备的全覆盖，以及在中国市场的本地化服务布局，持续推动制造业的真空工艺升级?。
产品介绍
日本进口CA佳能真空水晶测量仪
日本进口CA佳能真空水晶测量仪
Canon Anelva是日本佳能集团旗下专注于真空技术制造设备的品牌，其产品以高精度、强稳定性和创新技术著称，广泛应用于半导体、光伏、科研及工业领域。以下是其核心优势与产品体系的系统介绍：
?一、品牌定位与技术优势?
?1. 核心技术积累?
?多原理真空测量技术?：覆盖热阴极电离规（如BRG-1B，量程1×10??–10??Pa，精度±10%）、冷阴极真空计（如M-370CG，量程1×10??–1×10?Pa）以及电容真空计（如M-342DG），适应从大气压到超高真空的全场景测量需求?。
?抗干扰设计?：采用模块化结构和电磁屏蔽技术，确保在半导体蚀刻、镀膜等复杂工业环境中数据可靠性（如BRG-1B的RS485接口支持0.5秒级异常响应）。
?长寿命组件?：例如BRG-1B的钨丝发射极通过特殊工艺处理，配合自清洁功能，显著延长关键部件寿命?。
?2. 工业场景适配性?
?半导体制造?：真空蚀刻设备（如L-201D-L）实现10??Pa极限真空，配合13.56MHz射频电源，确保等离子蚀刻精度?。
?光伏与新材料?：针对大面积镀膜腔体开发的分布式真空监控方案（如MG-2M探头），支持长达数十米传输腔体的实时压力控制?。
?二、核心产品系列及应用场景?
?1. 真空计量设备?
?高精度测量类?
?BRG-1B电离规?：用于晶圆蚀刻/沉积工艺，提升压力控制精度23%。
?M-361CP组合真空计?：集成皮拉尼计（中真空）与冷阴极计（超高真空），单设备覆盖1Pa–10??Pa宽量程，降低系统成本?。
?特种环境适配类?
?M-350PG皮拉尼真空计?：耐腐蚀设计，适用于化学活性气体环境?。
?M-370CG冷阴极计?：无热灯丝结构，避免高温损伤，专用于电子束焊接、加速器等超高真空场景?。
?2. 工艺设备与关键部件?
?蚀刻系统?：L-201D-L二手设备仍被重用，印证其耐用性；支持0–500W射频功率精确调节，满足多元化蚀刻需求?。
?真空探头与开关?：
?MG-2系列探头?：金属封装微型规管，可测1Pa溅射工艺压力，兼容NW16/NW25等多种法兰?。
?954-7730真空开关?：机械式压力传感，动作精度±2.7×10?Pa，用于安全联锁控制?。
?三、市场竞争力与服务网络?
?本土化支持?：在中国设立南京、深圳等7个支社，提供技术响应与备件供应（如M-342DG电容计由深圳代理商直供）?。
?性价比优势?：二手设备（如L-201D-L）在中小型企业中广受欢迎，印证产品耐久性?。
?行业认证?：全线产品符合CE、RoHS及IP40防护标准，适配全球制造体系?。
?总结?
Canon Anelva凭借?全链路真空技术积累?与?工业级可靠性设计?，成为半导体、光伏等领域的关键设备供应商。其产品线从基础计量到复杂制程设备的全覆盖，以及在中国市场的本地化服务布局，持续推动制造业的真空工艺升级?。
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