在蒸发镀膜过程中，如采用电阻加热、电子束加热等方式使镀膜材料蒸发，然后沉积在基底表面。气体质量流量控制器（MFC）用于精确控制真空腔内的工艺气体流量。例如，在镀铝膜时，氩气常作为保护气体和辅助气体引入。MFC 精确控制氩气流量，能防止蒸发的铝原子在飞行过程中被氧化，确保铝膜的纯度和质量。