化学反应气体控制：在一些特殊的元素分析方法中，会涉及到化学反应气体。例如，在化学发光氮测定仪中，用于分析样品中的总氮含量时，需要通过 MFC 控制氧气的流量。氧气与样品中的氮化合物反应产生化学发光信号，MFC 精确控制氧气流量可以调节反应的速率和程度，从而准确地测量氮元素的含量。一般来说，MFC 可以将氧气流量控制在 50 - 150 mL/min，确保化学反应在合适的条件下进行。