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MFC330-05S 气体质量流量控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330-05S 气体质量流量控制器依然能够保持稳定的流量控制。
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| 产地类别 | 国产 | 产品种类 | 质量式 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 面议 | 介质分类 | 气体 |
| 应用领域 | 综合 |
MFC330-05S 气体质量流量控制器，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFC330-05S 气体质量流量控制器依然能够保持稳定的流量控制。
精准质量流量测量/控制
快速响应、高重复性
不受温度和压力的影响
工作压差范围大：0-1MPa
低压损可选
全金属比例阀可选
集成显示器可选
经济有效的解决方案
机械特性：
电气和通讯：
| 满量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
| 2 sccm~50 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.96 kg |
| 4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈2.1 lb | |
| 100 sccm~500 slpm | 138 mm | 82 mm | 38 mm | 62 mm | 30 mm | 10 mm | 10 mm | M4 ↓ 8 mm | ≈1.3 kg |
| 5.43 in | 3.22 | 1.496 | 2.220 | 1.181 | 0.393 | 0.393 in | M4 ↓ 0.31 in | ≈2.88 lb |
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