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场发射台式扫描电镜ZEM Ultra是一款高分辨率台式扫描电子显微镜（SEM），基于肖特基场发射电子源与三级独立真空系统设计，专为材料科学、纳米技术及工业检测领域的高精度微纳结构分析打造。其台式设计兼具紧凑性与稳定性，分辨率≤2.5nm，支持50万倍放大及多模态信号检测（SE/BSE/EDS/EBSD），适配从常规表征到原位动态研究的多样化需求。
核心特点
高分辨成像性能
场发射电子枪：提供高亮度、低能量扩散电子束，分辨率≤2.5nm，清晰呈现纳米级表面形貌与成分分布。
多级真空系统：独立真空设计，提升抗污染能力，保障长时间稳定观测。
全自动化与智能操作
一键式自动功能：自动亮度/对比度调节、自动聚焦、大视野图像拼接，简化复杂操作流程。
光学导航与仓内相机：快速定位样品区域，减少人工调整时间。
灵活扩展与多功能适配
大样品仓设计：内部尺寸176×185×125mm，兼容块体、粉末、薄膜等多样本类型。
原位功能拓展：支持电动多轴样品台（XYZ/XYT/五轴）、减速模式（0-10kV）及原位动态实验（如加热、拉伸）。
多探测器兼容：标配二次电子（SE）、背散射电子（BSE）探测器，可选配EDS能谱与EBSD衍射系统，实现成分与晶体结构分析。
工业级稳定性与效率
抗震优化设计：适应实验室或工业现场环境，确保成像稳定性。
快速成像模式：512×512像素视频级实时观测，2048×2048像素高清拍摄，满足高效检测需求。
应用领域
纳米材料：碳纳米管、金属颗粒、量子点形貌与尺寸分析。
能源材料：锂电池正负极（如磷酸铁锂）、催化剂、光伏材料微观结构表征。
半导体与电子：芯片缺陷检测、薄膜涂层均匀性评估。
地质与化工：矿物颗粒、高分子材料、多孔介质（如二氧化硅）表面研究。
参数摘要
| 关键指标 | 参数详情 |
|---|---|
| 分辨率 | ≤2.5 nm（高真空模式） |
| 放大倍数 | 20×至500,000× |
| 加速电压 | 1-15 kV连续可调 |
| 样品台 | 电动多轴（XYZ/XYT/五轴可选） |
| 探测器 | SE、BSE、EDS（选配）、EBSD（选配） |
| 成像模式 | 视频（512×512）、高清（2048×2048） |
| 样品仓尺寸 | 176mm（宽）×185mm（长）×125mm（高） |
场发射台式扫描电镜 优势总结
台式高效：场发射光源+全自动操作，兼顾高分辨率与便捷性。
多维分析：支持形貌、成分、晶体结构多模态数据联动。
扩展灵活：原位台与减速模式拓展动态实验能力，适配前沿科研需求。
