美国axometrics艾克松- 穆勒矩阵AR/VR光学量测系统
日本FLUORO福乐真空吸笔专为晶圆转移搬运设计,具有以下核心特性:
一、产品概述
?专业适配性?:专用于半导体晶圆的无污染转移,兼容硅晶圆等各类晶片及小型物体的吸附运输?14。
?模块化设计?:可根据需求更换吸附头(晶圆吸附头、喷嘴或垫),适应不同形状和尺寸的运输对象?1。
二、设计特点
?材料性能?
?抗静电系列?:采用传导性尼龙笔身与传导性PEEK吸头,电阻率范围为10?-10?Ω,有效消除静电干扰,适用于5寸、6寸、8寸晶圆?56。
?防酸系列?:吸盘接头使用铁弗龙(Teflon)材质,耐化学腐蚀性强,适用于酸蚀环境或精密器械维修?7。
?轻量化结构?:整体重量轻(约0.04kg),便于长时间操作且易于清洁?12。
?操作模式差异?
?F001?:按下按钮吸气,松开即释放;适用需快速吸附的场景?13。
?F002?:按下释放,松开吸附;耐高温及化学腐蚀,适合复杂工况?12。
?C003?:抗静电型,带吸力切断按钮,可手动控制吸附状态?15。
三、应用场景
?半导体制造?:用于晶圆的无损搬运,避免物理接触污染?46。
?精密工业?:如钟表、珠宝制造,需防静电或耐腐蚀的精细化操作?7。
四、配套设备
需搭配无油隔膜真空泵及抗静电真空管线(表面电阻率10?-10?Ω/cm?),确保系统无静电累积风险?48。
FLUORO福乐真空吸笔通过多样化的型号与材料选择,满足半导体及精密制造业对洁净度、安全性与操作效率的严苛需求。