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KASHIYAMA日本樫山真空泵MUP600E的特点
无油干式技术：采用螺杆式 / 爪式转子结构，通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无润滑油，可避免油蒸气污染，特别适合如晶圆加工等对洁净度要求高的敏感工艺。
耐腐蚀设计：转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，能够耐受酸性气体（如 HCl、Cl?）和颗粒物，适用于处理腐蚀性气体的场合。
抽速较高：最大抽速可达 10,000L/min，能够快速抽取气体，提高工作效率。
极限真空度高：极限压力可达 0.1Pa（0.001mbar），可满足对真空度要求严苛的工艺需求。
节能高效：采用变频驱动（VFD）调节转速，相较于油封泵，能耗可降低 30% - 50%，有效节省能源。
智能控制与监控：具备实时参数显示功能，可通过触摸屏或远程接口（Modbus / 以太网）输出真空度、温度、功耗等数据。同时，配备自诊断系统，通过振动、温度传感器预警异常情况，如过载或异物进入时会自动停机保护，方便用户监控和维护设备。
运行安静：属于水冷却式泵，运行时噪音低、振动小，能够提供较为安静的工作环境。
结构紧凑：设计紧凑，占用空间小，便于安装和集成到不同的设备或系统中。
维护成本低：摩擦部件少，能承受连续运转，不易出现故障，且轴封采用机械密封，维护较为方便，有助于降低维护成本和停机时间。
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