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KASHIYAMA日本樫山真空泵MU600XE的特点
无油洁净：采用无油运转设计，避免了油对工艺腔体的污染，可确保环境洁净无残留，适用于对洁净度要求的半导体、液晶、LED 及太阳能光伏等行业。
抽速高：最大抽速可达 10,000L/min。能快速有效地抽取气体，可满足中高负载的真空需求，能缩短设备的抽气时间，提高生产效率。
极限压力低：极限压力为 0.5Pa，可获得较高的真空度，能满足对真空环境要求苛刻的工艺需求，如高精度的半导体镀膜工艺等。
节能环保：配备低功耗电机，功率约 0.6kW，运行能效比优于同类产品，可降低能耗与运行成本。
结构紧凑：尺寸为 530×230×520mm，重量约 120kg，占地面积小，便于安装在空间有限的设备中，适合设备集成和改造项目。
维护便捷：采用模块化结构，检修流程简单，无需复杂的拆卸和组装过程，可降低维护成本和停机时间。
电源适应性强：电源为三相 AC200–220V，50/60Hz，能适应多种电力供应环境，方便在不同地区和场合使用。
运行稳定：摩擦部件少，可承受连续运转，不易出现故障，且噪音低、振动小，连续排气无脉动，能为工作环境提供较好的条件。
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