扫描电镜的原理及特点

扫描电镜在观察生物样品时，而能否获得真实、清晰、理想的扫描电镜观察结果，样品的制备过程是关键。下面介绍一下扫描电镜的原理和扫描电镜的特点。

扫描电镜的原理

扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像，获得测试试样表面形貌的观察。

当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时可产生电子-空穴对、晶格振动（声子)、电子振荡（等离子体）。

扫描电镜的特色。

扫描电镜的特色：

（一） 能够直接调查样品外表的结构，样品的尺度可大至120mm×80mm×50mm。

（二） 样品制备进程简单，不用切成薄片。

（三） 样品能够在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，能够从各种角度对样品进行调查。

（四） 景深大，图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。

（五） 图象的扩大规模广，分辨率也比较高。可扩大十几倍到几十万倍，它基本上包含了从扩大镜、光学显微镜直到透射电镜的扩大规模。分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达3nm。

（六） 电子束对样品的损伤与污染程度较小。

（七） 在调查描摹的一起，还可利用从样品宣布的其他信号作微区成分剖析。