三通道混气CVD系统的使用注意事项

来源：上海添时科学仪器有限公司 2023年12月23日 13:42

三通道混气CVD系统壳体结构：

双层壳体结构并带有风冷。

保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，可以减少热量的损失，环保节能。

内炉膛表面涂有美国1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命可开启式，更换炉管方便。

温控系统：

三个精密温度控制器，可独立控温PID控制方式，通过PWM固体继电器。

30段可编程智能温度调节仪，并可设置30段升降温程序。

带有过热和断偶保护功能。

使用注意事项：

炉管内气压不可高于0.02MPa。

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa会更加精确安全。

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态。

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

石英管的长时间使用温度＜1100℃对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）。

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