大型设备干涉仪用真空无油型离子泵

一、引言

二、选型前的准备工作

1. 明确应用需求
• 真空度要求：干涉仪通常需要超高真空环境，极限真空度应达到<1×10??? mbar。
• 抽速需求：根据干涉仪的腔体体积和抽气时间要求，计算所需的抽速。例如，对于大型干涉仪，可能需要500 L/s或更高的抽速。
• 气体成分：了解被抽气体的成分，特别是是否存在惰性气体、氢气等。不同气体成分可能需要选择不同类型的离子泵元件。
• 运行环境：考虑安装位置的空间限制、电源条件以及是否需要远程监控等功能。
2. 确定技术参数
• 极限真空度：选择极限真空度高于实际需求一个数量级的泵。
• 抽速：根据公式 S=tV×ln(P1/P2) 计算所需抽速。
• 泵的尺寸和重量：确保泵的尺寸和重量符合安装空间的要求。
• 功耗和冷却方式：选择适合的冷却方式（如风冷或水冷），并考虑功耗对运行成本的影响。

三、离子泵的类型选择

1. 二极离子泵元件：适用于通用的超高真空（UHV）和真空（XHV）应用，对氢气抽速至关重要。
2. 三极离子泵元件：对惰性气体（如氩气、氦气）和氢气具有更高的抽速和容量。
3. 改进型二极离子泵元件：适用于需要抽除残留惰性气体的通用UHV和XHV应用。

四、选型注意事项

1. 无油设计的重要性：无油型离子泵可避免油蒸气污染，确保干涉仪内部的洁净度。
2. 低漏电流和低磁场干扰：选择漏电流低、磁场干扰小的离子泵，以减少对干涉仪测量精度的影响。
3. 维护和可靠性：选择维护周期长、可靠性高的离子泵，以降低长期运行成本。
4. 定制选项：根据特殊需求，选择支持定制的离子泵，例如特殊接口、远程监控功能等。

五、品牌与供应商选择

1. 品牌信誉：选择如安捷伦、普发真空等，这些品牌在真空技术领域具有丰富的经验和良好的口碑。
2. 技术支持与售后服务：确保供应商能够提供技术支持、备件供应和及时的售后服务。

六、安装与维护建议

1. 安装注意事项
• 基础需平整稳固，预留维修空间。
• 进气管道应尽量短直，管径不小于泵口尺寸。
• 排气端建议。
2. 日常维护要点
• 定期检查运行电流和温度。
• 清洁或更换进气过滤器。
• 定期校准真空仪表。

七、总结