日本樫山工业(Kashiyama Industrial Co., Ltd.)创立于1949年,总部位于日本爱知县春日井市,拥有70多年的历史,是一家以专业研发、制造真空泵及相关设备而有名的工业技术企业,产品广泛应用于半导体、化工、食品、医药等领域。以下是对其主要产品真空泵的工作原理及相关技术参数的专业介绍:
机械真空泵工作原理
机械真空泵主要由泵体、转子、旋片等关键部件构成。当电机驱动转子旋转时,旋片在离心力作用下紧贴泵腔内壁,形成多个小腔室。这些腔室在旋转过程中不断变化体积,实现气体的吸入、压缩,并最终通过排气口排出,从而在泵的吸入端形成真空环境
水环真空泵工作原理
水环真空泵由圆形壳体和偏心安装的叶轮组成。叶轮旋转时,水在离心力作用下形成与壳体同心的水膜,叶轮与水膜及相邻叶片形成密封空间。随着叶轮旋转,该空间体积变化,完成吸气、压缩和排气过程,实现真空环境
干式真空泵工作原理
干式真空泵无需油或水等介质润滑和密封。以干式螺杆泵为例,两个螺杆转子反向旋转,气体被吸入并随着螺杆的螺旋运动被压缩,最终排出泵体,从而实现真空
技术参数
系列名称 | 电机功率(kW) | 极限压力(Pa) | 排气速度(m?/h) | 冷却方式 | 重量(kg) |
---|---|---|---|---|---|
SDE-X | 1.3 | 0.12-1.0 | 200-500 | 风冷 | 约150-200 |
LEM | 0.2-11 | 2.3×10?-7.3×10? | 17-300 | 水冷 | 15-300 |
LEH | 0.75-7.5 | 2.3×10?-7.3×10? | 22-150 | 水冷 | 19-250 |
SDE-TX | 具体值未提及 | 0.5 | 30000 | 具体方式未提及 | 440 |
NeoDry15G | 具体值未提及 | 1.0 | 250 | 具体方式未提及 | 约120-150 |
樫山工业的真空泵产品凭借其性能和可靠性,广泛应用于半导体制造、化学处理、食品包装、医药生产等领域,为各行业的工艺流程提供了关键的真空环境支持,推动了相关技术的发展和进步。在半导体行业,其产品可用于PVD、CVD、刻蚀等工艺,满足高洁净度要求。在化工领域,适用于各种化学反应的真空环境需求。在食品包装方面,能有效实现食品的真空包装,延长保质期。在医药生产中,可用于药品的干燥、提取等工艺过程。
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