KASHIYAMA樫山工业真空泵的工作原理和产品特性

来源：玉崎科学仪器（深圳）有限公司 2025年06月20日 09:16

日本樫山工业（Kashiyama Industrial Co., Ltd.）创立于1949年，总部位于日本爱知县春日井市，拥有70多年的历史，是一家以专业研发、制造真空泵及相关设备而有名的工业技术企业，产品广泛应用于半导体、化工、食品、医药等领域。以下是对其主要产品真空泵的工作原理及相关技术参数的专业介绍：

机械真空泵工作原理

机械真空泵主要由泵体、转子、旋片等关键部件构成。当电机驱动转子旋转时，旋片在离心力作用下紧贴泵腔内壁，形成多个小腔室。这些腔室在旋转过程中不断变化体积，实现气体的吸入、压缩，并最终通过排气口排出，从而在泵的吸入端形成真空环境

水环真空泵工作原理

水环真空泵由圆形壳体和偏心安装的叶轮组成。叶轮旋转时，水在离心力作用下形成与壳体同心的水膜，叶轮与水膜及相邻叶片形成密封空间。随着叶轮旋转，该空间体积变化，完成吸气、压缩和排气过程，实现真空环境

干式真空泵工作原理

干式真空泵无需油或水等介质润滑和密封。以干式螺杆泵为例，两个螺杆转子反向旋转，气体被吸入并随着螺杆的螺旋运动被压缩，最终排出泵体，从而实现真空

技术参数

表格

系列名称	电机功率(kW)	极限压力(Pa)	排气速度(m?/h)	冷却方式	重量(kg)
SDE-X	1.3	0.12-1.0	200-500	风冷	约150-200
LEM	0.2-11	2.3×10?-7.3×10?	17-300	水冷	15-300
LEH	0.75-7.5	2.3×10?-7.3×10?	22-150	水冷	19-250
SDE-TX	具体值未提及	0.5	30000	具体方式未提及	440
NeoDry15G	具体值未提及	1.0	250	具体方式未提及	约120-150

樫山工业的真空泵产品凭借其性能和可靠性，广泛应用于半导体制造、化学处理、食品包装、医药生产等领域，为各行业的工艺流程提供了关键的真空环境支持，推动了相关技术的发展和进步。在半导体行业，其产品可用于PVD、CVD、刻蚀等工艺，满足高洁净度要求。在化工领域，适用于各种化学反应的真空环境需求。在食品包装方面，能有效实现食品的真空包装，延长保质期。在医药生产中，可用于药品的干燥、提取等工艺过程。

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