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无损检测：采用 X 射线荧光技术，在不破坏样品的前提下完成厚度测量，这对于一些珍贵样品或不允许破坏的产品检测尤为重要。例如，在文物保护领域，对于古代金属器物表面镀层厚度的测量，费希尔 X 荧光射线测厚仪能够在不损伤文物的情况下提供准确数据。
测量范围广：能够测量从极薄的镀层到较厚的材料，元素测量范围涵盖从氯（17）到铀（92），最多可同时测量 24 种元素、23 层镀层。无论是简单的单镀层结构，还是复杂的多层合金镀层，都能准确测量。
自动化程度高：部分型号如 XDL 240 具备自动化的工作台移动和测量流程控制功能，减少了人为操作误差，提高了测量效率和准确性。在工业生产线上，能够快速、连续地对产品进行厚度检测，为生产过程的质量控制提供及时反馈。
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