芯片高低温测试机是半导体行业中用于验证芯片在温度环境下性能稳定性的关键设备,广泛应用于芯片研发、量产测试等环节。其操作需严格遵循流程,确保测试准确性和设备安全。以下是详细的操作使用指南:
在操作前,需了解设备的核心构成,确保各部件正常运行:
测试腔(温箱):封闭空间,可快速升降温(通常范围:-60℃~+150℃,部分设备可达 - 100℃~+200℃),内部有样品放置台和温度传感器。
温控系统:含加热器、制冷机组(如压缩机制冷 + 半导体辅助控温)、风道循环装置,实现腔体内温度精准控制(波动≤±0.5℃)。
测试接口模块:
控制系统:工业计算机或触摸屏,用于设置温度参数、测试流程、报警阈值等,支持手动 / 自动模式。
安全保护装置:超温报警、过流保护、腔门连锁(开门时暂停升降温)、制冷机压力保护等。
工作原理:通过温控系统将测试腔温度稳定在目标值,芯片在该温度下通过接口模块与测试仪器连接,验证其电学性能(如电压、电流、频率、功耗等)是否符合标准。
环境检查
设备放置在平整、通风良好的场地,远离热源、水源和腐蚀性气体,预留≥50cm 的散热空间(尤其制冷机侧)。
电源:确认电压(如 AC 220V/380V)、频率与设备匹配,接地可靠(避免静电损坏芯片和设备)。
制冷介质:若为水冷式制冷机,检查冷却水流量、压力是否达标(通常 0.2~0.5MPa),水质需洁净(避免结垢堵塞)。
样品与工具准备
芯片:确认样品型号、测试要求(如温度点、测试时长、需验证的参数),提前固定在测试载具(如 PCB 板、样品架)上,避免直接用手接触(需戴防静电手环 / 手套)。
测试线缆:检查线缆是否老化、接头是否松动,确保与芯片引脚、测试仪器接口匹配(如 USB、GPIB、射频接口等)。
辅助工具:防静电镊子、扳手(固定接口)、记录本(记录测试数据)。
设备自检
打开测试腔门(部分设备需先按下 “开门许可” 按钮,解除连锁保护),将固定好芯片的载具平稳放置在样品台上,确保芯片与样品台接触良好(若需快速传导温度,可涂抹导热硅脂)。
连接电信号:将测试线缆一端接入芯片引脚(或载具接口),另一端连接到外部测试仪器(如半导体参数分析仪、ATE 自动测试系统),确保接线无误(避免短路)。
关闭腔门,确认门扣锁紧(腔门未关严时,设备无法启动升降温程序)。
在控制面板或配套软件中选择 “手动模式”(单温度点测试)或 “自动模式”(多温度点循环测试)。
关键参数设置:
目标温度:根据测试需求输入(如 - 40℃、25℃、85℃、125℃),注意不可超过设备温区范围。
升温 / 降温速率:设置温度变化速度(通常 5~10℃/min,速率过快可能导致芯片热应力过大,或温箱超调)。
稳定时间:温度达到目标值后,保持该温度的时间(如 10~30 分钟,确保芯片温度与腔体温一致)。
测试时长:每个温度点下的测试持续时间(可与稳定时间叠加,或单独设置)。
报警阈值:设置温度上下限(如目标温度 ±5℃),设备自动停机并报警。
确认参数无误后,点击 “启动” 按钮,设备开始按程序运行:
稳定阶段结束后,通过测试仪器对芯片进行性能测试(手动记录数据或通过软件自动采集)。
单个温度点测试完成后,可手动停止程序,或设置 “结束温度”(如回到 25℃常温)。
待腔体内温度降至常温(避免样品骤冷骤热损坏),按下 “开门许可”,打开腔门,断开测试线缆,用防静电镊子取出芯片,放入防静电盒中。