一、定义与原理
微量水分发生器
定义:专注于生成气体中极低湿度环境(露点低于-20℃,对应水蒸气含量低于1020ppmV)的设备,用于校准高精度湿度传感器或检测材料在干燥条件下的性能。
原理:
双压法:通过加压饱和后减压膨胀,结合道尔顿定律计算湿度。
双温法:利用温度差异控制水汽饱和,如霜点湿度发生器通过冰层升华产生低湿气体。
渗透法:水分子通过半透膜扩散,精确控制湿度(如渗透管技术)。
应用场景:
半导体制造(校准芯片干燥环境传感器)。
药品生产(确保原料药在极低湿度下储存)。
科研实验(模拟火星大气等干燥环境)。
2. 水分发生器
定义:广义设备,用于产生特定湿度的气体环境,涵盖从低湿到高湿的广泛范围(如10%~95%RH)。
原理:
加热水浴法:通过加热储水容器产生水蒸气,结合气流控制湿度(如HME水分发生器)。
循环气泵法:气流在饱和器与试验腔间循环,达到湿度平衡。
应用场景:
环境监测(校准温湿度传感器)。
农业(测试植物在不同湿度下的生长)。
工业过程控制(如造纸行业控制纸张含水量)。
二、技术参数对比
参数 | 微量水分发生器 | 水分发生器 |
---|---|---|
湿度范围 | 极低湿(ppm级,露点<-20℃) | 宽范围(如10%~95%RH) |
精度 | 高(±1%~±3%RH) | 中到高(±2%~±5%RH) |
流量 | 低(0.1~5L/min) | 较高(1~20L/min) |
典型应用 | 半导体校准、药品干燥 | 环境监测、农业实验 |
三、行业标准
1. 微量水分发生器
关键标准:
GB/T 7600:运行中变压器油水分测定法(库仑法)。
SH/T 0246:轻质石油产品中水含量测定法(电量法)。
GB/T 11133:液体石油产品中水含量测定方法(卡尔费休法)。
2. 水分发生器
关键标准:
JJG 1012-87:定义湿度相关参数(如露点、霜点)。
医疗设备标准:HME水分发生器需符合生物相容性和气流稳定性要求。
核心区别:微量水分发生器聚焦极低湿度高精度生成,而水分发生器覆盖广泛湿度范围,应用场景更多样。未来趋势:微量水分发生器在半导体、医药领域需求持续增长。水分发生器向便携化、智能化发展,常压水发生器市场潜力巨大。
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