易度智能高性能气体质量流量控制器推动国产化半导体芯片发展

2025年西部半导体及电子博览会即将在西安隆重开幕。在这场聚焦中国半导体产业核心技术与供应链安全的行业盛会上，国产化替代成为贯穿全场的主旋律。

作为本次展会备受瞩目的本土创新力量，陕西易度智能科技有限公司将展示其自主研发的层流压差式质量流量计与控制器系列产品——这些突破“卡脖子”技术的关键部件正在重塑中国半导体装备的“呼吸系统”。

国产化突破：从技术依赖到自主创新
陕西易度智能科技有限公司并非行业中的陌生面孔。这家专注研发制造业微流量控制核心器件的企业，凭借自主研发十余年的技术积淀，已成为国内极少数掌握层流压差式核心技术的企业。

在工信部“100%国产化认证”的政策东风下，易度智能实现了从核心传感器到控制算法的全面自主化，其产品线涵盖质量流量计和质量流量控制器两大关键领域。

公司研发团队以西北工业大学数名博士后、博士为核心，依托航空宇航专业背景，在微流量测控领域拥有深厚技术积累。目前已取得20余项创新型技术和几十项国内外认证，并参与了国家《层流流量计检定规程》等标准的制定。

“我们坚持从一条公式开始研发高性能产品。”易度智能的技术发展理念体现了对基础科学的尊重。这种坚持使他们成为国内第—家通过中国计量科学研究院认证的层流质量流量计和控制器制造商，也是全球二家有能力生产通用型层流质量流量计的企业。

精密控制：半导体制造的“气体脉搏”
在半导体芯片制造过程中，特气控制的精度直接决定芯片良品率。易度智能针对半导体特气控制的高标准要求，专门建立了百级洁净间生产线，确保产品满足晶圆制造的严苛环境。

公司产品线针对不同半导体工况进行了精细化布局：

E系列工业配套流量计：采用金属壳体封装，抗电磁干扰能力强，适用于半导体工厂复杂环境。量程范围覆盖0.5sccm~5000slpm，相应速度可达1ms，满足从实验室到量产线的全场景需求。

EC系列工业配套流量控制器：2025年新一代产品支持PROFINET通讯，响应速度可达300ms，精度±0.5%Rd，内置70种气体数据库并支持混气编辑。其宽温压工作范围（-20℃~60℃/2.5MPa）适应半导体设备的各种工况。

T/TC系列小尺寸流量计与控制器：专为空间受限的半导体设备集成设计，在保持高性能的同时大幅缩减体积，适用于紧凑型刻蚀和沉积设备。模块化设计支持RS485/模拟信号等多种主流通讯协议。

这些产品基于层流压差原理，通过内置压力与温度传感器实现动态补偿，解决了半导体制造中混合气体控制、快速响应和高精度要求的三大技术痛点。其无需转换系数即可实现任意比例混合气体切换的特性，显著简化了半导体工艺气体切换的操作流程。

国产替代：从“可用”到“好用”的跨越
长期以来，半导体制造用质量流量控制器市场被国际品牌垄断。易度智能凭借层流压差技术路线的差异化优势，实现了国产MFC从“技术可用”到“技术好用”的关键跨越。

在半导体刻蚀、薄膜沉积等核心工艺环节，易度智能控制器的表现尤为亮眼。其响应速度达10ms级（远超传统热式流量计的秒级响应），精度达±0.5%Rd，在高频、高精度场景中展现出超高性能。

“在国产替代趋势下，我们在半导体制造、燃料电池测试等领域的表现尤为突出。”易度智能技术负责人指出。公司产品已在多家国内头部半导体设备商的机台中实现批量应用，助力国产光刻机、刻蚀机等核心装备实现流量控制部件的本土化替代。

随着国产化进程加速，国产MFC在半导体市场渗透率持续提升。行业数据显示，预计到2030年，国产化率将超过40%，而易度智能正处在这场替代浪潮的前沿。

2030年国产化率超40%——这是行业对国产质量流量控制器在半导体领域渗透率的预期。在西部半导体展聚光灯外，易度智能的工程师们仍在百级洁净间内调试下一代产品。

他们的目标明确：将产品稳定性做到更好，将控制精度从±0.5%提升至±0.2%，让中国半导体设备的每一次“呼吸”都精准无误。

精密气体流控领域的竞赛从未停止，但这一次，中国创新者已跻身第一梯队。