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预算超2.8亿！中国科学院微电子研究所近期采购意向来了
2025年02月17日 11:23:10
来源：Ky开元集团 点击量：6870
近期，中国科学院微电子研究所连续发布多项仪器设备采购意向，预算金额达28366万元。涉及仪器设备包括全自动光学显微镜、刻蚀设备、X射线光电子能谱仪、等离子体增强化学气相沉积设备、干法去胶机等。
近期，中国科学院微电子研究所连续发布多项仪器设备采购意向，预算金额达28366万元。涉及仪器设备包括全自动光学显微镜、刻蚀设备、X射线光电子能谱仪、等离子体增强化学气相沉积设备、干法去胶机等。预计采购时间2025年3至6月。
采购意向只是政府采购的初步安排，具体采购情况以中国科学院微电子研究所发布的采购公告和采购文件为准，有意向的企业可持续关注该研究所发布的招标信息。
中国科学院微电子研究所采购预算汇总
| 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（万元） | 预计采购日期 |
| 硅片 | 制备半导体器件，数量700片 | 150 | 2025年02月 |
| 4G-LTE Cat.1通信SOC芯片晶圆 | 4G-LTE Cat.1通信的SOC芯片及其配套的PMIC芯片，晶圆数量各1张 | 160 | 2025年03月 |
| 高温集成电路与元器件 | 高温集成电路与元器件 | 140 | 2025年03月 |
| 全自动光学显微镜 | 全自动光学显微镜1台 | 150 | 2025年04月 |
| 新型存储器刻蚀系统 | 新型存储器刻蚀系统1台 | 1500 | 2025年04月 |
| 激光发生装置 | 激光发生装置 | 130 | 2025年04月 |
| 12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备 | 12英寸槽式小尺寸高精度横向湿法刻蚀设备1台 | 3800 | 2025年04月 |
| 数模混合综合老化系统 | 数模混合综合老化系统1台 | 114 | 2025年04月 |
| 稳态热阻测试系统 | 稳态热阻测试系统1台 | 115 | 2025年04月 |
| 三维集成封装动态数字全息显微分析仪 | 三维集成封装动态数字全息显微分析仪1台 | 252 | 2025年05月 |
| 低温变频C-V测试设备 | 低温变频C-V测试设备 | 350 | 2025年05月 |
| 透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 | 透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 | 1000 | 2025年05月 |
| 离子刻蚀机 | 离子刻蚀机1台 | 810 | 2025年05月 |
| 光谱检测仪 | 日本横河 AQ6380 光谱检测仪1 台 | 100 | 2025年06月 |
| 低频阻抗分析仪 | 低频阻抗分析仪1 台 | 100 | 2025年06月 |
| X射线光电子能谱仪 | X射线光电子能谱仪 | 900 | 2025年06月 |
| 激光隐形切割成套设备 | 激光隐形切割成套设备 | 1000 | 2025年06月 |
| 12吋晶圆等离子划片机 | 12吋晶圆等离子划片机 | 1880 | 2025年06月 |
| 12吋晶圆级激光去胶开槽设备 | 12吋晶圆级激光去胶开槽设备 | 800 | 2025年06月 |
| 12吋晶圆级无机红外拆键合设备 | 12吋晶圆级无机红外拆键合设备 | 5300 | 2025年06月 |
| 翘曲测量仪 | 翘曲测量仪 | 620 | 2025年06月 |
| 12吋物理气相沉积设备 | 12吋物理气相沉积设备 | 2300 | 2025年06月 |
| PVTC-A1比容量仪 | PVTC-A1比容量仪 | 245 | 2025年06月 |
| 流片 | 流片50颗 | 100 | 2025年06月 |
| 低噪声高频信号发生器 | 低噪声高频信号发生器1台 | 180 | 2025年06月 |
| high-K介质电感耦合等离子体刻蚀设备 | high-K介质电感耦合等离子体刻蚀设备1台 | 900 | 2025年06月 |
| 干法去胶机 | 干法去胶机1台 | 200 | 2025年06月 |
| 高深宽比横向湿法刻蚀设备 | 高深宽比横向湿法刻蚀设备1台 | 1210 | 2025年06月 |
| 金属及金属氧化物原子层沉积设备 | 金属及金属氧化物原子层沉积设备1台 | 1800 | 2025年06月 |
| 金属及金属氧化物电感耦合等离子体刻蚀设备 | 金属及金属氧化物电感耦合等离子体刻蚀设备1台 | 860 | 2025年06月 |
| 等离子体增强化学气相沉积设备 | 等离子体增强化学气相沉积设备1台 | 1200 | 2025年06月 |
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