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EVG610 BA 晶圆对准设备

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键合对准

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岱美仪器技术服务(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面简称岱美)成立于1989年,是一间拥有多年经验的高科技设备分销商,主要为数据存储、半导体、光通讯、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持,并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。自1989年创立至今,岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国香港,中国大陆(上海、东莞、北京),中国台湾,泰国,菲律宾,马来西亚,越南及新加坡等地区。


岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:

晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器、定心仪等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。




膜厚仪,轮廓仪,EVG键合机,EVG光刻机,HERZ隔震台,Microsense电容式位移传感器

产地类别 进口 价格区间 面议
应用领域 电子/电池,综合
  晶圆缺陷检测设备用于晶圆到晶圆对准的手动键合对准系统,适用于学校和工业研究。
  一、简介

  EVG610键合对准系统专为晶圆与晶圆对准设计,晶圆尺寸最大可达150 mm。EV Group键合对准系统提供手动高精度带有底部显微镜的校准台。EVG的键合对准系统的精度能满足MEMS生产和3D集成应用等新兴领域中苛刻的对准要求。

 

  二、特征

  zui适用于EVG501和EVG510键合系统
  晶圆和基板尺寸可达150/200 mm
  手动高精度对准
  手动底侧显微镜
  基于Windows系统的用户界面
  *的多用户概念(无限数量的用户帐户,各种访问权限,不同的用户界面语言)
  桌面系统设计,占地面积zui小
  支持IR对准过程
  研发和试生产线的zui低的拥有成本(TCO)
三、技术参数
  1.基本配置:
  台式
  机架:可选
  隔振模式:被动
  2.对准方式:
  背部对住精度:±2μm 3 σ
  透射对准精度:±1μm 3 σ
  红外对准:可选
  3.对准台:
  高精度测微计:手动
  可选:机械测微计
  楔形补偿:自动

 

 

 



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