EFC270 杜邦 刻蚀残留物去除液
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 北京中科复华科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 EFC270
- 产地 美国
- 厂商性质 代理商
- 更新时间 2024/4/28 16:17:18
- 访问次数 164
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供货周期 | 现货 | 应用领域 | 生物产业,电子/电池,电气 |
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EFC265 接触清洁,金属线清洁,TSV深硅穿孔清洁等
杜邦™plasmasolv®ekc265™蚀刻后残留物去除
杜邦™plasmasolv®ekc265™蚀刻后残留物去除
清洗接触,金属,穿孔和Pad
高度选择性的残留物去除 应用:
应用EKC265™蚀刻后残留物器广泛应用在半导体行业,以满足关键的清洁需求
从高深宽比MEMS器件100μm+ 到DRAM 的70nm集成的各个阶段
下面列出了常见的应用程序:
接触清洁
金属线清洁
TSV深硅穿孔清洁
钨埋位线清洗
聚酰亚胺清洗
Pad清洁
MEMS清洗
特征:
所有蚀刻后铝清洗的单一解决方案
除重有机残留物
宽工艺窗口
高产率
穿孔接触电阻降低
铝清洗行业基准