桌上型成像仪MSD-150D用于对显影均匀性和一致性要求较高的表面处理工艺，适合硅片、磷化铟、碳化硅、氮化镓等。主要应用于4、6寸晶圆及方片.适合高校、研究所和企业客户。
本司也提供8寸、12寸桌上型显影机，更多功能如吹气、背洗等请咨询。
桌上型成像仪技术规格：
| 项目 | 规格 |
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主体 | 外壳材质:镜面不锈钢 处理样品尺寸：6寸晶圆以内 承盘:PTFE 马达: 转速：20-3000 R.P.M 摇臂：自动 操作界面：7寸触摸屏 |
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显影装置 | 药液装置: 显影 x1（控温可选） DIW x1 |
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控制系统 | 系统: PLC 使用接口：7寸触屏 配方:手动和自动模式 编程 : 50 组 20 步 |
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安全装置 | 晶圆承盘真空渗液保护: |
| 真空检知: 数字设定:真空值下限保护 运行结束报警提示 |
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附件 | 真空泵x1 显影罐x1 去离子水罐x1 废液桶x1 真空吸盘x1 |
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