微型线轨探针冷热台

HCP421V-MP微型线轨探针冷热台可单独使用，也可搭配显微镜/光谱仪使用。其可在-190℃~400℃范围内控温，同时允许探针电测试、光学观察和样品气体环境控制。探针台上盖与底壳构成一个可抽真空的密封腔，亦可内充入氮气等保护气体，来防止样品在负温下结霜，或高温下氧化。

微型线轨探针冷热台功能特点

迷你温控探针台，可用于显微镜/光谱仪

-190℃~400℃可编程控温（负温需配液氮制冷系统）

直径26 mm加热区

可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用

模块化设计，可自由组合

*可升级独立的4-8独立探针，可从设备外部移动探针进行点针,

可从温控器或电脑软件控制，可提供软件SDK

SMA接头转BNC四探针，手动点针

*可选三同轴接口，用于pA的级测试

*可做定制或改动，详询上海恒商

独立的四个探针，可从设备外部移动探针进行点针,

温控参数

温度范围 -190℃~400℃（负温需配液氮制冷系统）

传感器/温控方式100Ω铂RTD/PID控制（含LVDC降噪电源）

最大加热/制冷速度30℃/min

最小加热/制冷速度±0.01℃/min

温度分辨率0.01℃

温度稳定性±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

软件功能 可设温控速率，可设温控程序，可记录温控曲线

电学参数

探针 默认为铼钨材质的弯针探针*可选其他种类探针

探针座线性导轨底座结合杠杆式探针支架，移动灵活，点针力度更大，电接触性更好

点针手动点针，每个探针座都可点到样品区上任意位置

探针接口默认为SMA接头转BNC

*可增设腔内接线柱（样品接电引线）

样品台面电位默认为电接地，可选电悬空（作背电极），可选三同轴接口

非磁性改造 台体可改用非磁性材质制造，用于变温霍尔效应探针测试

光学参数

适用光路 反射光路*另有透射光路型号

窗片可拆卸与更替的窗片

最小物镜工作距离8 mm*截面图中WD

透光孔台面默认无通光孔，可增设通光孔以支持透射光路

上盖窗片观察窗片范围φ27mm，最大视角±45°*截面图中θ1

负温下窗片除霜 吹气除霜管路

结构参数

加热区/样品区 直径26 mm

样品腔高5.4 mm*样品最大厚度由探针决定

放样打开上盖后置入样品再点针，关上盖后无法移动探针

气氛控制可抽真空的腔体，亦可充入保护气体使用

外壳冷却可通循环水，以维持外壳温度在常温附近

安装方式水平安装或垂直安装

台体尺寸/重量 250 mm x 180 mm x 55 mm/2400g

配置列表

基本配置 HCP421V-MP温控探针台、mK2000B温控器

可选配件 液氮制冷泵、循环水机、安装支架、测试源表、真空系统、电化学工作站、台面电悬空、样品接电引线

适用范围

用于搭配Instec冷热台、Instec温控探针台、Instec温控晶圆夹盘、Instec冷热平板、Instec定制温控装置使用。

温控配件系列

安装支架：用于将温控装置固定在用户设备上

mK2000B温控器，含InstecAPP温控软件，温控装置必选

LN2-SYS液氮制冷系统：液氮泵+液氮罐+液氮管线

外壳循环水冷系统，帕尔贴式温控装置必选

MITO系列温控联用显微镜相机，含控制软件

LWDC2长工作距离聚光镜

真空系统：包括真空泵+真空管路，用于真空型温控装置

LN2-SYS液氮制冷系统

主要分为液氮泵和液氮罐两部分。使用时需用管路将温控装置串接在液氮罐和液氮泵之间，温控装置加热块内埋有封闭式进出管路，液氮泵受mK2000B控制进行抽气，把液氮从液氮罐内吸到温控装置的加热块中，实现温控装置主动降温。

外壳循环水冷系统

用于温控装置的外壳/底座的冷却。温控装置加热/制冷时，外壳/底座温度会被带得很烫/很凉，危害周遭人员设备甚至设备自身。用循环水让外壳温度保持在常温附近，能有效预防此灾害。

mK2000B温控器

支持恒温、恒速率变温、暂停、编程温控功能。具有冷热独立的多段PID控制、可保存4套20段校准表等特点。可独立控制，也可从InstecAPP软件控制。

温度分辨率±0.001℃(热敏电阻)，±0.01℃(RTD)，±0.1℃(热电偶)

控制接口USB虚拟串口可选其他接口

可选项LVDC线性可调直流电源，用于降低电噪音

温控软件 InstecAPP，可提供多语言SDK

安装支架

针对用户设备定制，可让热台水平固定/垂直固定等，垂直光路/水平光路等的用户设备皆可适用。通常有：

圆环式（用于圆形载物台），平板式（用于方形载物台）、

载物台式（用于代替设备载物台）、立式（用于水平光路）。