FluxDancer 晶体管迁移率测试系统

产品关键词：转移特性测试.输出特性测试,迁移率测试,线性区迁移率提取,饱和区迁移率提取,迁移率的霍尔测量,晶体管输运特性测试,变温迁移率测试系统,显微系统耦合

产品特点

1. 半导体参数分析仪驱动的迁移率测试

基于 高精度直流源测量单元（SMU），通过 场效应晶体管（FET）传输特性拟合、空间电荷限制电流（SCLC）模型 等方法，精准提取 载流子迁移率（单位：）。半导体参数分析仪具备 fA 级电流分辨率 与 mV 级电压精度，支持 宽量程扫描（nA~mA 电流、0~100V 电压），适配 MOSFET、薄膜晶体管（TFT）、半导体薄膜 等器件测试，同步解析 阈值电压、亚阈值摆幅、接触电阻 等关键电学参数，为 电荷输运机制（如弹道输运、散射效应） 提供定量分析依据。

2. 变温迁移率测试系统

集成 闭环温控模块（温度范围覆盖 -196℃（液氮制冷）~300℃（加热台），控温精度 ±0.1℃），与半导体参数分析仪联动，实现 “温度 - 电学” 同步采集。通过变温测试：

解析 载流子散射机制（如高温下声子散射增强导致迁移率衰减，低温下杂质散射主导的输运行为）；

定位 器件热稳定性瓶颈（如功率器件高温迁移率退化、柔性电子低温性能衰减）；

适配 高温电子学、柔性器件、宽禁带半导体（如 GaN） 等领域的可靠性研究。

3. 显微系统耦合技术

支持与 光学显微镜（明场 / 暗场 / 荧光，微米级分辨率）、扫描探针显微镜（SPM，纳米级分辨率）、激光共聚焦显微镜 深度耦合：

通过 显微定位系统（亚微米精度），锁定 微区目标（如器件沟道、异质结界面、缺陷位点） 开展迁移率测试；

同步获取 “形貌 - 电学” 关联数据（如观察钙钛矿晶粒边界时，测试该区域载流子输运特性），突破传统宏观测试的 “空间均匀性假设”，揭示 微观结构（如晶粒尺寸、界面态）对迁移率的影响规律，助力 缺陷工程、异质结优化 等研究。

4. 光场耦合测试能力

集成 宽光谱光场模块（波长覆盖 紫外（200nm）~ 近红外（1700nm），支持连续光 / 纳秒脉冲光调控，光强范围，实现 光激发下的迁移率测试：

采用 光电导法、光电流法，分析 光生载流子的产生、输运、复合动力学（如光电器件中迁移率随光强的变化规律）；

支持 “栅压 + 光强” 双变量扫描，解析 光 - 电协同调控机制（如钙钛矿光伏器件中光生载流子的迁移率优化）；

适配 光敏材料（量子点、有机半导体）、光探测器、光伏电池 等光电器件的 光响应特性与机理研究。