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| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,电气,综合 |
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产品简介
详细介绍
半导体材料真空探针台电学性能测试系统
半导体材料真空探针台电学性能测试系统产品参数：
腔体
型号：CGO-2
样品台尺寸：2英寸
样品固定：样品固定
观察窗口：2英寸
真空度：10-6 torr
探针臂接口：最多6个探针臂接口
其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式：液氮 / 液氦
控制方式：开循环手动
温度范围：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K
温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
显微镜
X-Y-Z 移动行程：50mm×25mm×13mm
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
光源：外置LED环形光源 / 同轴光源
CCD：200万像素 / 500万像素 / 1200万像素
探针座
X-Y-Z 移动行程：X-Y-Z 移动行程
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
探针夹具
线缆：同轴线 / 三轴线 / 射频线
漏电精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探针：弹簧固定 / 螺丝固定
接头类型：BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子/ 射频接口
探针
射频支持：DC-67GHZ
针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材质：钨钢 / 铍铜
真空组件：分子泵组 / 机械泵
冷源组件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷机
外形重量：730mm×750mm×1265mm（长宽高） 约100kg
防震桌参数：
气浮隔振防震桌
隔振方式:隔振方式
材质:不锈钢 / 碳钢
平面度:0.05mm / m2
粗糙度:＜0.8μm
孔距:25×25mm
孔径:M6
平台尺寸（长宽):可定制
平台厚度：50 / 100 / 200mm
固有频率:.5Hz - 2Hz
支撑腿:气浮支撑腿
支撑腿数量:4个 / 6个
支撑腿高度:800mm±10mm
其他:内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制
真空探针台 外置探针臂
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