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157-2970nm，AOI 0°至45°，LaserOptik可变衰减器AVACS

可变衰减器(Variable Attenuators，VA)：

LASEROPTIK提供的可变可变激光衰减器(Variable Attenuators，VA)是通过倾斜边缘滤光片来改变透射率，入射角(AOI) 0°时透射率最高，AOI 0°至45°，波长范围157-2970nm。特别是具有193nm激光衰减器LaserOptik。德国LASEROPTIK 193nm衰减器

反向可变衰减器(Inversely Variable Attenuators, IVA)：

反向可变衰减器(Inversely Variable Attenuators, IVA)工作原理与VA相同，但在AOI 0°时传输率低。其中，给出的公差表示传输中的最小调谐范围，光束位移可以通过同时使用第二块板或两片滤光片来补偿。若要实现低衰减，建议使用AR涂层第二板。

LASEROPTIK提供的自动可变衰减器控制系统(Automatic Variable Attenuator Control System, AVACS)由步进电机驱动，可手动控制或由计算机控制。AVACS系列衰减器包括电源、控制显示屏、操作元件、启动程序、限位装置、计算机接口和水冷装置。此外，193nm衰减器AVACS还可提供带手动调节功能的简易外壳，该装置专为衰减不同波长的光束而设计，LaserOptik激光衰减器AVACS通过改变光束路径上光学器件的角度来实现各种强度，其中，补偿滤波片用于光束校正。光学镜组不包括在供货范围内，可从LASEROPTIK GmbH（德国加布森，30826）购买各种波长的滤光镜片。

可以通过以下三种不同的方式进行控制：

1. 手动Manual：3个功能按钮和自解释显示屏

2. 模拟Analogue：可连接0-10V直流电，即来自SPS的直流电。

3. 电脑PC：可使用随附的Net "Software软件进行串行接口连接。

图1： LaserOptik可变衰减器AVACS图示

图2：248nm激光衰减器的透射率随入射角变化的曲线图

248nm Variable Attenuator激光衰减器规格：

consisting of

B-00211

VA248nm/0-45° T 90%-2%

T>90% 0-15° (depending on the production tolerance)

T<2% 45°

B-00002

AR248nm/0°

R<0.25%

S-00016

FS-LO-U 50x27x1.5mm

plane

Surface form deviations: 3/4(4) Wedge: <5'

193nm衰减器AVACS的特点：

LaserOptik激光衰减器的基底材料、波长、反射/透射率、入射角、偏振和GDD值等进行优化，另外，还可以根据用户的需求进行全新的设计。

LaserOptik激光衰减器的镀膜类型Coating types参数：

图3：PR通过AOI改变反射/透射比，通过改变AOI（例如0-45°）可以连续改变传输，也可作为反向可变衰减器(IVA)

德国LASEROPTIK 193nm衰减器