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当前位置：深圳维尔克斯光电有限公司>>光学镜片及配件>>反射镜>> XRM-1203M-193Lambda准分子激光反射镜 输出波长193nm
| 供货周期 | 一个月 | 规格 | 标准品 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 综合 | 主要用途 | 激光光学 |
ArF(193nm)，反射率>97%、耐酸/氟的193/248/308nm反射镜
Lambda Research Optics由从事电子光学业务超过25年的专业人士创立，专注于生产用于从真空紫外到远红外整个光学光谱的光学元件。Lambda对光学、光学材料和光学镀膜具备一定的能力，可为客户提供研究、开发或产品制造所需的光学元件。Lambda准分子激光反射镜 输出波长193nm
美国Lambda准分子反射镜分为腔内反射镜(XRM/XOC)和腔外反射镜(XHR/XPR)，ArF(193nm)、KrF(248nm)或XeCl(308nm)准分子激光反射镜可用于微光刻、微制造和医疗设备等应用。氟化氩准分子激光器可产生193nm的短波长输出，这对于追求更精细分辨率的微光刻领域非常重要，此波长下，建议使用氟化钙或氟化镁基底作为腔内透射光学元件。后腔反射镜(Excimer Cavity Rear Mirrors (XRM))在激光波长下的反射率至少为97%。另外，用户可选择输出耦合器的反射率。值得关注的是，Lambda高质量准分子激光腔镀膜涂层是专为耐酸/氟(Acid/Fluorine resistance)而设计的。
腔外反射镜(extra-cavity mirrors)用于氟化氩准分子激光器，它们使用紫外熔融石英衬底，输出波长为193nm。在短波长下工作时，高质量的涂层和高的洁净度至关重要，这些反射镜在正常入射时的非偏振反射率至少为97%，在45°入射时为96%。部分反射率可由用户选择。
准分子激光反射镜 Lambda的主要特点：
腔内反射镜和输出耦合镜(XRM/XOC)特征：
- 氟化氩准分子激光光学器件
- 氟化钙或氟化镁基底
- 反射率>97%
腔外反射镜和部分反射镜(XHR/XPR)特征：
- 腔外转向镜Extra-Cavity Turning Mirrors
- 正常或45°入射角
- 高反射率或部分反射率
308/248/193nm反射镜的规格：
规格 | 描述 |
材质Material | XRM/XOC：紫外MgF?/紫外CaF? XHR/XPR：准分子级熔融石英 |
表面质量 | XRM/XOC：<20/10 XHR/XPR：<10/5 |
曲率半径 | ∞ |
表面平整度 | < λ/10@633 nm |
直径公差 | < +0.00/– 0.20 mm |
厚度公差 | < ±0.25 mm |
清晰光圈 | ≥ 85% of diameter |
损伤阈值 | >1.2J/cm?, 10 ns |
耐用性 | 符合MIL-C-675标准的附着力和耐磨性要求 |
93nm准分子反射镜和输出耦合镜XRM/XOC型号参数：
MgF2 | CaF2 | 直径 | 厚度 (mm) | 运行参数 |
腔内反射镜Rear Cavity Mirror | ||||
XRM-1203M-193 | XRM-1203CU-193 | 0.50" | 3.0 | ≥97% |
XRM-2003M-193 | XRM-2003CU-193 | 20mm | 3.6 | ≥97% |
XRM-2503M-193 | XRM-2503CU-193 | 1.00" | 3.0 | ≥97% |
XRM-3605M-193 | XRM-3605CU-193 | 36mm | 5.5 | ≥97% |
XRM-3805M-193 | XRM-3805CU-193 | 1.50" | 5.5 | ≥97% |
XRM-5009M-193 | XRM-5009CU-193 | 2.00" | 9.5 | ≥97% |
输出耦合反射镜Output Coupler | ||||
XOC-1203M-*R-193 | XOC-1203CU-*R-193 | 0.50" | 3.0 | * |
XOC-2003M-*R-193 | XOC-2003CU-*R-193 | 20mm | 3.6 | * |
XOC-2503M-*R-193 | XOC-2503CU-*R-193 | 1.00" | 3.0 | * |
XOC-3605M-*R-193 | XOC-3605CU-*R-193 | 36mm | 5.5 | * |
XOC-3805M-*R-193 | XOC-3805CU-*R-193 | 1.50" | 5.5 | * |
XOC-5009M-*R-193 | XOC-5009CU-*R-193 | 2.00" | 9.5 | * |
* 根据客户要求，可提供任何比例的反射。
193nm准分子反射镜XHR/XPR型号参数：
MgF2 | 直径(英寸) | 厚度(英寸) | 运行参数 |
0°高反射镜 | |||
XHR-1206U-193-0 | 0.50 | 0.250 | ≥97% |
XHR-1906U-193-0 | 0.75 | 0.250 | ≥97% |
XHR-2506U-193-0 | 1.00 | 0.250 | ≥97% |
XHR-3809U-193-0 | 1.50 | 0.375 | ≥97% |
XHR-5009U-193-0 | 2.00 | 0.375 | ≥97% |
45°高反射镜 | |||
XHR-1206U-193-45 | 0.50 | 0.250 | ≥96% |
XHR-1906U-193-45 | 0.75 | 0.250 | ≥96% |
XHR-2506U-193-45 | 1.00 | 0.250 | ≥96% |
XHR-3809U-193-45 | 1.50 | 0.375 | ≥96% |
XHR-5009U-193-45 | 2.00 | 0.375 | ≥96% |
部分反射镜 | |||
XPR-1206U-*R-193 | 0.50 | 0.250 | * |
XPR-1906U-*R-193 | 0.75 | 0.250 | * |
XPR-2506U-*R-193 | 1.00 | 0.250 | * |
XPR-3809U-*R-193 | 1.50 | 0.375 | * |
XPR-5009U-*R-193 | 2.00 | 0.375 | * |
* 反射百分比和入射角可根据客户要求提供
Lambda准分子激光反射镜 输出波长193nm
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