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当前位置：深圳维尔克斯光电有限公司>>光学镜片及配件>>反射镜>> PSMH-30C03-10-193西格玛光机PSMH系列和TFMHP系列193nm反射镜
| 应用领域 | 综合 |
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反射率＞95%，入射角度45°，表面质量10-5，低损耗的193反射镜
西格玛光机PSMH系列和TFMHP系列193nm反射镜。日本Optosigma的强激光用电介质膜反射镜TFMHP系列193反射镜是适用于高功率，脉冲Nd-YAG激光（或Yb-YLF激光）或准分子激光的光学系统的反射镜。193nm ArF反射镜根据外径划分成三种型号：TFMHP-25.4C05-193、TFMHP-30C05-193和TFMHP-50C08-193。193nm准分子反射镜的反射率高，可以达到95%以上，经过多个反射镜反射后，光量也不会衰减很多。此外，TFMHP系列193反射镜的镀膜使用吸收小的电介质膜，可以承受大功率激光的连续照射，激光损伤阈值2 J/cm2。
多层电介质膜平板半反射镜193反射镜是用于紫外激光或YAG激光的PSMH系列193nm半反射镜。西格玛光机的PSMH系列193nm半反射镜一共有4款，PSMH-30C03-10-193，PSMH-30C05-10-193，PSMH-30C05/08-10W-193和PSMH-30C08-10W-193。这些193反射镜正面有多层电介质膜，反面有防反射膜，几乎没有光量的损失，有不使光束产生变形的平行平面型，和因反面反射产生鬼影或干涉的影响很少的楔型两种。多层电介质膜平板半反射镜由于是平板型半反射镜，透过基板时产生的波长分散或色差很小，重量也可以减轻。
西格玛光机PSMH系列和TFMHP系列193nm反射镜的指标：
类型 | PSMH系列193nm半反射镜 | TFMHP系列193反射镜 |
材质 | BK7 合成石英 CaF2 | BK7 |
基板面型精度 | λ/10 | λ/10 |
镀膜 | 正面：多层电介质膜 反面：防反射膜 | 多层电介质膜 |
入射角度 | 45° | 45°±3° |
平行度 | —— | ＜3′ |
分束比（反射：透射） | １：１ | —— |
表面质量 | 10-5 | 10-5 |
有效直径 | 外径的90％ | 外径的90％ |
反面 | —— | 抛光面 |
193nm准分子反射镜/193nm ArF反射镜的参数指标：
型号 | 外径mm | 厚度mm | 材质 | 平行度 楔形角 | 反射率R 透过率T （P偏光和S偏光的平均值） | 激光损伤阈值 〔J/cm2〕 |
PSMH-30C03-10-193 | φ30 | 3 | 合成石英 | ＜5″ | T＝45±5 | 1 |
PSMH-30C05-10W-193 | φ30 | 5 | 合成石英 | 1°±5′ | T＝45±5 | 1 |
PSMH-50C05-10-193 | φ50 | 5 | 合成石英 | ＜5″ | T＝45±5 | 1 |
PSMH-50C08-10W-193 | φ50 | 8 | 合成石英 | 1°±5′ | T＝45±5 | 1 |
TFMHP-25.4C05-193 | φ25.4 | 5 | BK7 | — | 反射率＞95% | 2 |
TFMHP-30C05-193 | φ30 | 5 | BK7 | — | 反射率＞95% | 2 |
TFMHP-50C08-193 | φ50 | 8 | BK7 | — | 反射率＞95% | 2 |
193nm准分子反射镜/193nm ArF反射镜的功能说明图：
左：TFMHP系列193反射镜；右：PSMH系列193nm半反射镜
多层电介质膜平板半反射镜平行平面基板和楔形基板
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