应用领域 |
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日本欧姆龙OMRON光电传感器
通过与导槽并用的方式设定落座位置
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂
*的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架
采用抗干扰光的变调光方式
使用环保导线(无滑石粉)
晶圆片托架的落座检测
日本欧姆龙OMRON光电传感器
特点:
通过与导槽并用的方式设定落座位置
与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂
*的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架
采用抗干扰光的变调光方式
使用环保导线(无滑石粉)
种类:
本体 形状 | 形状检测方式 | 检测距离 | 动作模式 | 导线长 | 型号 |
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| 反射型 | 0~3mm (红外光) | 有晶圆片托架时ON | 2m | EE-SPY801 2M | 
| EE-SPY802 2M |
附件(另售) 注: 不具备传感器的功能。 |
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日本欧姆龙OMRON光电传感器
额定值/性能:
项目 型号 | EE- SPY801/802 |
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检测距离 (标准检测物体) | 0~5mm (反射率90% 白色画纸15×15mm2) 0~3mm (反射率10% 黑纸15×15mm2) |
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检测物体 | 晶圆片托架(透明物体、不透明物体) |
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动作指示灯 | 物体检测时亮灯(橙色) |
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光源(大发光波长) | GaAs红外发光二级管(940nm) |
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电源电压 | DC12~24V±10% 纹波(p-p) 5%以下 |
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消耗电流 | 30mA以下 |
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控制输出 | NPN集电极开路输出、DC5~24V、100mA以下、关机电流0.5mA以下 残留电压:0.8V以下(负载电流100mA时) 残留电压:0.4V以下(负载电流40mA时) |
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响应时间 | 5ms以下 |
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使用环境照度 | 受光面照度 白炽灯、太阳光:各3,000lx以下 |
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环境温度范围 | 工作时:-10~+55℃、保存时:-25~+65℃ (无结冰) |
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环境温度范围 | 工作时:5~85%RH、保存时:5~95%RH (无结露) |
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振动(耐久) | 1~500Hz 单振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次扫频、11min/扫频 |
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冲击(耐久) | 500m/s2 X、Y、Z各方向 3次 |
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保护结构 | IEC规格 IP30 |
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连接方式 | 导线引出型(标准导线长2m) |
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质量(包装后) | 本体(传感器):约43g、附件(导槽):约9g |
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材质 | 外壳 | 四氟乙烯-乙烯共聚物(ETFE) |
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底板 | 聚苯二甲酸丁二醇酯 |
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附件 | 使用说明书 |
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