美国Angstrom Sciences 高功率射频圆形阴极
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美国Angstrom Sciences 高功率射频圆形阴极
只要在结构中纳入特定的设计标准，Angstrom Sciences 高功率射频圆形磁控管就可以在研发和生产应用中成功实施。
Angstrom Sciences 高功率射频圆形磁控管可直接冷却，外径为2英寸-8英寸。
因为射频功率在高频下工作，所以磁控溅射阴极的设计必须能够控制这种功率。Angstrom Sciences的高功率射频磁控管设计用于在目标表面均匀地传递射频能量，同时提供低反射功率和射频限制。
高功率射频磁控管有圆形和线性两种配置。
美国Angstrom Sciences 高功率射频圆形阴极
美国Angstrom Sciences, 背板
溅射工艺中使用的背板对于为您的产品创造高质量的薄膜沉积至关重要。我们提供标准配置和定制尺寸的背板，以满足您的特定要求。我们还提供完整的粘合服务，以提供完整的解决方案。
Angstrom Sciences 提供定制的背板，以适合任何制造商的阴极。我们的内部加工能力使我们能够根据原始设备规格或定制阴极尺寸制造全系列背板，并具有质量控制。
在 Angstrom Sciences，没有订单太小或太大。定制成分没有最小批量要求，我们对客户服务的非凡关注令业界羡慕不已。我们通常为平面、圆形和圆柱形溅射靶材提供背板（铜、钼、铜铬），为溅射靶材冷却提供导电浆料和焊盘，并提供键合服务，作为我们为 PVD 社区提供全面服务的一部分。
磁体映射套件
磁体映射套件提供了一种测量磁控管磁场并将其与磁体阵列的原始分布图进行比较的方法。
可以提供磁成像套件，使用户能够测量磁控管的场强，并确定磁体阵列是否有足够的损坏或退化以保证更换。
随着磁控溅射阴极中的磁场减弱，工作电压和工作压力将增加，从而对薄膜质量和均匀性产生负面影响。
拥有磁性诊断工具将允许用户确定过程偏移是由于磁控管还是其他原因引起的。
磁成像套件由分布验证板、高斯计和探头组成。映射板设计为适合溅射阴极，并钻有沉头孔，以便可以在目标表面获取读数。这允许一致的放置，并且读数可以与每个 Angstrom Sciences 磁控溅射阴极提供的原始磁图进行比较。
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